製品概要
この高性能熱処理システムは、現代の材料科学および産業研究の厳しい要求を満たすように設計されています。分割ヒンジ設計とデュアルゾーン温度制御を組み合わせることで、高温雰囲気焼結、焼入れ、化学気相成長（CVD）のための多用途なプラットフォームを研究者やエンジニアに提供します。本製品の最大の価値は、極めて均一な温度場を維持しつつ、急速冷却やチューブへの即時アクセスという柔軟性を提供できる点にあります。本装置は、精密な温度勾配や急激な温度変化が材料の最終特性に不可欠な複雑な熱処理を容易にするために特別に設計されています。
科学研究機関、航空宇宙研究所、半導体製造をターゲットとしており、信頼性と一貫性が不可欠な環境で優れた性能を発揮します。真空アニールや雰囲気還元においても、過酷な条件下で安定した性能を保証します。日本製断熱材や欧州製パワーコントロールなど、高品質なコンポーネントの統合により、長い耐用年数と再現性のある結果を保証します。本装置は、小規模な実験結果と産業規模の生産要件のギャップを埋める、研究能力への重要な投資となります。
本ユニットへの信頼は、その堅牢なエンジニアリングと安全第一の設計に基づいています。表面温度を低く保つ二重壁ハウジングと、一連の自動保護システムを備えており、最大1200°Cまでの高温作業に対して安全な環境を提供します。デュアルゾーン構成により、処理チューブの各セクションで独立した温度設定が可能であり、結晶成長や多段階化学反応に不可欠な特定の温度勾配を作成できます。本システムは、精度、速度、運用安全性のバランスを求める研究所にとって理想的な選択肢です。
主な特徴
- デュアルゾーン独立温度制御： 2つの独立した加熱ゾーンを備えており、それぞれ異なる温度に設定可能です。これにより、複雑なCVDや焼入れプロセスに不可欠な、精密な温度勾配やより広い均一加熱長を実現します。
- 先進の島電製FP93コントローラー： 日本から輸入されたこの高精度40セグメントデジタルコントローラーは、複数のプログラムパターン（4x10、2x20、または1x40）をサポートし、6つの独立したPIDグループを利用して、低温から高温範囲まで比類のない精度を保証します。
- 高性能カンタルA1発熱体： 純正のカンタル抵抗線を採用しており、一貫した加熱性能と優れた耐久性を実現。繰り返しの高温サイクル後も安定した温度場を維持します。
- 精密設計の分割チャンバー： 多結晶アルミナ繊維チャンバーは2つに分割されており、運転中または運転後に炉を開くことで、急速焼入れ、即時冷却、またはプロセスチューブの便利な取り外しや交換が可能です。
- 優れた真空および雰囲気シール： ガス継手、バルブ、圧力計を統合したステンレス製ダブルリングシールフランジを備え、10^-3 Paの真空レベルを達成可能で、酸素に敏感な熱処理に最適です。
- 堅牢な安全および保護システム： カバーを開くと電源を遮断するオーバートラベルリミットスイッチに加え、熱電対故障時に自動的にシステムをシャットダウンする過熱および過電流保護機能を備えています。
- 日本製多結晶アルミナ繊維断熱材： 日本から輸入されたチャンバー素材は、高い反射率と熱膨張・収縮に対する優れた耐性を持ち、エネルギー効率と均一な内部温度環境を確保します。
- 統合データ通信およびソフトウェア： RS485通信インターフェースによりPC経由の完全なリモート制御が可能で、PV/SVパラメータのリアルタイム監視、加熱曲線の保存、品質管理や監査目的でのデータアーカイブが可能です。
- 信頼性の高い電力管理コンポーネント： ドイツ製セミクロン（Semikron）サイリスタとChintパワーコントロールを採用し、位相シフトトリガー方式により発熱体へスムーズかつ精密な電力供給を行います。
- 油圧リフトサポート： 炉カバーには油圧リフターが装備されており、重量のある分割トップの開閉をスムーズかつ安全に行え、オペレーターの身体的負担を最小限に抑えます。
用途
| 用途 | 説明 | 主なメリット |
|---|---|---|
| 真空アニール | 制御された真空環境下での金属や合金の処理による内部応力の除去。 | 加熱サイクル中の酸化や表面汚染を防止。 |
| 焼入れ研究 | 高温からの材料の急速冷却による結晶構造の変化。 | 分割設計により、即時の露出と急激な温度降下が可能。 |
| CVD / PECVD | 薄膜、ナノチューブ、グラフェン成長のための化学気相成長。 | デュアルゾーン制御により、蒸気輸送に必要な精密な温度勾配を作成。 |
| 雰囲気焼結 | 窒素やアルゴンなどの特定のガス環境下でのセラミックまたは金属粉末の加熱。 | 統合されたガス継手と流量計により、精密な雰囲気組成が可能。 |
| 半導体R&D | 高純度条件下でのシリコンウェハーや電子部品の熱処理。 | 高真空能力と精密なPID制御により、高い歩留まりと再現性を確保。 |
| 航空宇宙材料 | 極限の熱応力下での耐熱合金および複合材料の試験。 | 処理ゾーン全体で一貫した均一性を備えた信頼性の高い1200°C運転。 |
| 雰囲気還元 | 水素やフォーミングガスを用いた金属サンプルからの酸化物除去。 | 確実なフランジシールとガス管理システムにより、プロセスガスの安全な取り扱いを保証。 |
| バッテリー研究 | 先進エネルギー貯蔵用正極および負極材料の焼成・焼結。 | 均一加熱により、サンプルバッチ全体で一貫した電気化学特性を確保。 |
技術仕様
| 仕様カテゴリ | パラメータ | TU-GS01-I | TU-GS01-II | TU-GS01-III |
|---|---|---|---|---|
| チャンバー寸法 | チューブ径 x 長さ | 60mm x 1000mm | 80mm x 1000mm | 100mm x 1000mm |
| 外形寸法 | 全体サイズ (LxWxH) | 1140 x 460 x 695 mm | 1140 x 460 x 695 mm | 1140 x 460 x 695 mm |
| 熱性能 | 最高温度 | 1200°C | 1200°C | 1200°C |
| 連続使用温度 | 1100°C | 1100°C | 1100°C | |
| 昇温速度 (最大) | ≤30°C / 分 | ≤30°C / 分 | ≤30°C / 分 | |
| 推奨昇温速度 | ≤15°C / 分 | ≤15°C / 分 | ≤15°C / 分 | |
| 温度精度 | +/- 1°C | +/- 1°C | +/- 1°C | |
| ゾーン構成 | 総加熱長 | 410mm (205mm/ゾーン) | 410mm (205mm/ゾーン) | 410mm (205mm/ゾーン) |
| 均熱長 | 160mm (80mm/ゾーン) | 160mm (80mm/ゾーン) | 160mm (80mm/ゾーン) | |
| 電気データ | 電力 | 2.5KW | 2.5KW | 3.5KW |
| 電圧 | 220V (単相) | 220V (単相) | 220V (単相) | |
| 主要コンポーネント | 発熱体 | カンタルA1線 | カンタルA1線 | カンタルA1線 |
| 温度コントローラー | 島電 FP93 | 島電 FP93 | 島電 FP93 | |
| 熱電対 | Kタイプ | Kタイプ | Kタイプ | |
| 断熱材 | 多結晶アルミナ | 多結晶アルミナ | 多結晶アルミナ | |
| 真空 / ガス | シールタイプ | ダブルリングフランジ | ダブルリングフランジ | ダブルリングフランジ |
| 真空レベル (標準) | 10^-1 Pa | 10^-1 Pa | 10^-1 Pa | |
| 真空レベル (オプション) | 10^-4 Pa (分子ポンプ) | 10^-4 Pa (分子ポンプ) | 10^-4 Pa (分子ポンプ) |
標準コンポーネントおよび付属品
- チューブ炉本体: 1台 (TU-GS01)
- ステンレス製真空フランジ: 1セット (ガス継手およびバルブを含む)
- プロセスチューブ: 1本 (TU-GS01シリーズ用高純度石英)
- 断熱ブロック: 2ペア (アルミナセラミック)
- サポートツール: ステンレス製フック1個、アルミナるつぼ5個
- 安全装備: 耐熱手袋1ペア
- 計測機器: Kタイプ熱電対2本、予備ヒューズ2個
- 制御キット: RS485コンピュータインターフェース、島電ソフトウェア、総合マニュアル
TU-GS01を選ぶ理由
- 実証済みの長期信頼性: カンタル発熱体や島電コントローラーなど、世界クラスのコンポーネントを統合することで、性能劣化なしに長年の連続的な産業・研究室使用に耐えるよう構築されています。
- 優れた熱精度: デュアルゾーン制御と6グループPIDロジックの組み合わせにより、材料が要求される正確な熱条件下で処理され、バッチ間のばらつきを排除します。
- 強化された運用安全性: 分割ヒンジカバー用の物理リミットスイッチや洗練された電子保護機能を含む多層的な保護により、オペレーターとチューブ内の貴重なサンプルの両方を保護します。
- 柔軟なシステムアーキテクチャ: 高真空レベル、特定のガス流量、カスタムチューブ寸法など、TU-GS01プラットフォームは特定の研究プロトコルや産業ワークフローに合わせて高度に適応可能です。
- 高品質な材料構造: 日本製のアルミナ繊維断熱材から高耐久ステンレス製フランジに至るまで、すべての材料は熱衝撃に耐え、構造的完全性を維持する能力に基づいて選択されています。
精密なエンジニアリングと産業グレードの耐久性を兼ね備えた熱処理ソリューションに投資し、R&Dの結果が常に一貫して信頼できるものであることを保証してください。詳細な技術相談や、特定の研究室の要件に合わせたカスタマイズ見積もりについては、今すぐTHERMUNITSまでお問い合わせください。
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