製品概要
この高度な熱処理システムは、極めて長い加熱長と精密な雰囲気制御を必要とする大規模な研究および産業用途向けに設計されています。合計6メートルの長さにわたる12の独立した加熱ゾーンを統合することで、複雑な温度勾配の作成や、非常に長い恒温ゾーンの維持という独自の能力を研究者に提供します。本システムは、従来の実験用炉では対応できない長尺のストリップ、ワイヤー、または大量の材料バッチを処理するために特別に設計されています。分割ヒンジ構造により、超長尺プロセスチューブの設置とメンテナンスが容易になり、セットアップ中のコンポーネント損傷のリスクを低減します。
先端材料科学、冶金、半導体産業をターゲットとしており、化学気相成長（CVD）、超電導ワイヤーの焼鈍、特殊炭素構造の合成などのプロセスの基盤となります。本装置は、小規模な実験室レベルの実験と産業規模の生産のギャップを埋めるものであり、研究用ツールの精度とパイロットプラントシステムの処理能力を兼ね備えています。高耐久の産業用コンポーネントで構築されたこの炉は、連続運転に最適化されており、統合された真空密閉石英管とステンレス製フランジシステムを通じて高純度環境を提供します。
信頼性は本熱処理ユニットの証です。高純度繊維状アルミナ断熱材からモジュール式スチールケーシングに至るまで、すべてのコンポーネントは高温熱サイクルの過酷な条件に耐えられるよう選定されています。制御電子機器を専用キャビネットに分離することで、敏感なPIDコントローラーを熱ストレスから保護し、長期的な動作安定性を確保しています。このシステムは、真空または制御された雰囲気下で再現性の高い結果、均一な熱分布、堅牢なパフォーマンスを提供するため、要求の厳しい産業用R&D環境において不可欠な資産となります。
主な特徴
- 12の独立した加熱ゾーン：各500mmのゾーンには専用のPIDコントローラーと熱電対が装備されており、全長6000mmにわたる熱プロファイルを比類のない精度で制御可能です。
- 分割ヒンジ式炉構造：加熱チャンバーが縦方向に開くため、超長尺プロセスチューブの積み下ろしが容易で、分解することなくサンプルのセットアップの迅速な冷却や検査が可能です。
- モジュール式チャンバー構造：物流効率を考慮して設計されており、超長尺システムをセクションごとに輸送し、現場で容易に組み立てることが可能です。
- 高度なタッチスクリーン制御：集中タッチスクリーンインターフェースにより、12ゾーンすべてを同時に管理でき、温度プロファイルの編集やリアルタイムデータの監視を1か所から行えるユーザーフレンドリーなプラットフォームを提供します。
- 高純度繊維状アルミナ断熱材：チャンバー内壁にはエネルギー効率の高いアルミナファイバーがライニングされており、優れた断熱性、低蓄熱性、優れた耐熱衝撃性を備えています。
- 精密真空フランジシステム：ニードルバルブと圧力計を備えたステンレス製クイック組み立てフランジが含まれており、加熱サイクル全体を通じて高真空レベルや精密なガス雰囲気を維持するように設計されています。
- 強化加熱エレメント：モリブデンを添加した1300℃グレードのFe-Cr-Al合金エレメントを使用し、最大20℃/分の急速加熱と高温下での長寿命化を実現しています。
- リモートPCインターフェース機能：内蔵のRS485通信ポートと専用ソフトウェアにより、安全な距離からの完全な遠隔操作、データロギング、レシピ管理が可能です。
- 統合された安全保護機能：過熱防止機能と熱電対断線アラームが組み込まれており、障害発生時には自動的に電源を遮断して機器とサンプルを保護します。
- 二重層スチールケーシング：頑丈な空冷式二重シェル構造により、オペレーターの安全を確保しつつ、20フィートのフレームの構造的完全性を維持します。
用途
| 用途 | 説明 | 主なメリット |
|---|---|---|
| 超電導ワイヤー焼鈍 | 制御された雰囲気下での超長尺超電導フィラメントの精密熱処理。 | サンプルを分割することなく、ワイヤー全長にわたって均一な相形成を実現。 |
| 窒素ドープ炭素合成 | 触媒の高温処理による構造秩序と電気伝導率の最適化。 | 1100℃での安定したCo-Nクラスター形成を促進し、メタノール耐性を向上。 |
| CVD / PECVDプロセス | 長尺基板や複数のウェハーへの薄膜コーティングのための大規模化学気相成長。 | 18フィートの恒温ゾーンにより、一貫した膜厚で大量処理が可能。 |
| 長尺ストリップ冶金 | 航空宇宙および自動車分野で使用される特殊合金ストリップの熱処理および応力除去。 | 反りを防ぎ、材料ストリップ全体で一貫した機械的特性を確保。 |
| カーボンナノチューブ製造 | 真空下での様々なガス前駆体を利用したCNTの連続またはバッチ成長。 | 高純度石英環境内で膨大な反応容積を提供し、収率を最大化。 |
| 半導体拡散 | シリコンウェハーまたは長尺ロッド基板へのドーパントの高温拡散。 | 卓越した+/- 1℃の精度により、すべての処理部品で再現性のある電子特性を保証。 |
| 温度勾配研究 | 結晶成長や材料相転移研究のための特定の温度勾配の作成。 | 12ゾーン制御により、6メートルにわたる線形または非線形の勾配をプログラム可能。 |
技術仕様
| パラメータ | モデルTU-54の仕様 |
|---|---|
| 炉構造 | 冷却ファン付き二重層スチールケース、設置が容易なモジュール設計 |
| 断熱材 | 高純度繊維状アルミナ断熱材 |
| 加熱エレメント | モリブデン添加1300℃グレードFe-Cr-Al合金 |
| 最高温度 | 1100℃（1時間未満） |
| 連続使用温度 | 1050℃ |
| 最大昇温速度 | ≤ 20℃ / 分 |
| 総加熱ゾーン | 12独立ゾーン（各500mm） |
| 総加熱長 | 6000mm（20フィート） |
| 恒温ゾーン | 全ゾーン同期時、約5500mm（18フィート）、+/- 2℃以内 |
| プロセスチューブ寸法 | 溶融石英管：外径5インチ x 内径4.7インチ x 長さ22フィート（6500mm） |
| 温度コントローラー | 12のPIDチャンネルを独立制御するタッチスクリーンデジタルユニット |
| 制御精度 | +/- 1℃ |
| プログラム容量 | 10プログラム保存可能、1プログラムあたり30セグメント |
| 熱電対 | 12 x Kタイプ（ゾーンごとに1つ） |
| 通信ポート | RS485（付属ソフトウェアでPC接続可能） |
| 真空フランジ | ニードルバルブ、圧力計、KF40ポート付きステンレス製 |
| 総定格電力 | 最大30 KW |
| 入力電圧 | AC 208-240V 単相、50/60 Hz |
| 安全機能 | 過熱および熱電対断線保護 |
| 準拠規格 | CE認証取得済み、ご要望に応じてNRTL/CSA対応可能 |
TU-54が選ばれる理由
- 比類のない均熱性：12ゾーン制御アーキテクチャにより、18フィートという広大な恒温ゾーンを実現し、大規模サンプル全体に同一の熱処理を施すことが可能です。
- 産業グレードの拡張性：熱パラメータを変更することなく、小規模なラボテストからパイロット生産へ移行できるため、プロセス開発期間を数ヶ月単位で短縮できます。
- 精密な雰囲気管理：高純度石英管と真空密閉フランジにより、高度なガス処理が可能であり、繊細な材料合成や高純度焼鈍に不可欠です。
- 信頼性の高いエンジニアリングとサポート：プレミアムコンポーネントとモジュール性を考慮して構築されており、数十年の使用に耐える設計です。現地認証や技術サポートも利用可能です。
- カスタマイズ可能な制御オプション：ワイヤレス遠隔操作から統合型水冷システムまで、お客様の施設の特定の安全およびデータ要件を満たすようカスタマイズ可能です。
この大容量熱処理システムに関する技術的なご相談や正式な見積もりについては、当社のエンジニアリングチームまでお問い合わせください。お客様の特定のプロセス要件について検討させていただきます。
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