製品概要
この6ゾーン超長尺分割型チューブ炉は、高精度な材料研究および工業生産向けに特別に設計された、熱処理エンジニアリングの頂点に立つ製品です。1.8メートルという広大な加熱長にわたり、独立して制御可能な6つの加熱ゾーンを統合することで、非常に長い恒温ゾーンの形成や、複雑な多段階温度勾配の設定が可能です。分割ヒンジ設計により、プロセスチューブの挿入や複雑な実験構成の組み立てを迅速に行うことができ、ダウンタイムや手間のかかる分解作業を最小限に抑えます。
本装置の主な用途は、半導体ウェハー処理、化学気相成長（CVD）、温度均一性と雰囲気制御が不可欠な高度セラミック焼結など多岐にわたります。航空宇宙、エネルギー貯蔵、冶金などのターゲット産業において、堅牢なプラットフォームを提供します。超長尺ワイヤーサンプルのアニールからゾーン精製まで、実験室規模の実験からパイロットプラントの生産環境への移行に必要な一貫性とスケーラビリティを実現します。
プロ仕様のコンポーネントと二重鋼製ハウジングで構築された本ユニットは、過酷な産業用R&D環境での継続的かつ高負荷な運用を想定しています。加熱チャンバーと制御電子機器を分離することで、長期的な信頼性を確保し、繊細なコンポーネントを熱ストレスから保護します。高スループット処理、精密な温度プロファイリング、および厳格なデューティサイクル下での高真空や特定のガス雰囲気維持を優先する施設にとって、最適な選択肢です。
主な特徴
- 6つの独立した加熱ゾーン：6つの300mm加熱ゾーンそれぞれが専用の制御システムで駆動され、複雑な温度プロファイルの作成や、+/- 2℃の精度で1525mmの巨大な恒温ゾーンの構築が可能です。
- 精密なPID温度制御：6つの30セグメントプログラム可能なデジタルコントローラーが、昇温速度、冷却速度、保持時間を緻密に管理し、繊細な冶金プロセスにおいて再現性の高い結果を保証します。
- 超長尺加熱チャンバー：1800mm（72インチ）の加熱長により、長いプロセスチューブや大量のサンプルに対応し、標準的な実験用炉と比較してスループットを大幅に向上させます。
- 分割ヒンジ設計：炉体は縦方向に分割され、ガススプリングで支えられているため、チューブの交換、急速冷却サイクル、および内部雰囲気を乱すことなくチューブ設定を視覚的に確認することが容易です。
- 高純度アルミナ断熱材：先進的な繊維状アルミナ断熱材が熱損失を最小限に抑え、エネルギー消費を削減。二重鋼製ケースと冷却ファンにより、動作中も外装温度を安全に保ちます。
- 高度な加熱素子：モリブデンを添加した1300℃グレードのFe-Cr-Al合金を使用し、1200℃までの急速加熱と優れた耐酸化性を実現し、長寿命を保証します。
- PCリンク通信インターフェース：RS485通信ポートと専用制御ソフトウェアを搭載し、PCからの遠隔監視・制御が可能。データロギングや複雑なプロセス自動化を容易にします。
- 真空および雰囲気の多様性：ニードルバルブと圧力計を備えた高品質ステンレス製真空フランジが含まれており、真空環境や窒素、アルゴン、フォーミングガスなどの制御されたガス環境下での処理をサポートします。
- 統合された安全保護機能：過熱アラーム、熱電対断線保護、過昇温遮断メカニズムなどの安全装置が内蔵されており、機器と処理材料の両方を保護します。
- カスタマイズ可能なチューブ径：4インチ外径の石英管が付属していますが、柔軟な設計により1インチから4インチ外径までの様々な処理チューブに対応可能で、進化する研究要件に適応します。
用途
| 用途 | 説明 | 主なメリット |
|---|---|---|
| CVD/PECVDプロセス | 薄膜およびナノ材料の化学気相成長用主加熱源として使用。 | 広範囲にわたる優れた均一性により、スケーラブルな膜成長が可能。 |
| ゾーン精製 | 固体インゴット内で溶融ゾーンを移動させることで材料を精製するための温度勾配を形成。 | 6つの独立したゾーンによる高解像度な勾配制御。 |
| 半導体ドーピング | 制御された高純度雰囲気下で、半導体ウェハーへドーパントを拡散。 | クリーンな石英環境と精密な保持時間管理。 |
| センサーの校正 | 長い恒温ゾーンを利用して、様々な熱センサーや熱電対を校正。 | 業界をリードする60インチの恒温性能。 |
| ワイヤーおよびファイバーのアニール | 長いチューブを通過する金属ワイヤーやセラミックファイバーの連続熱処理。 | 安定した温度プロファイルにより、長尺サンプルの構造欠陥を防止。 |
| 固体合成 | 粉末前駆体の高温反応による新規セラミックまたは複合化合物の形成。 | 信頼性の高い雰囲気制御により、繊細な粉末の酸化を防止。 |
| 勾配熱サイクル | 材料を同時に異なる温度にさらし、相転移を研究。 | 複数の炉を個別に稼働させる必要がない。 |
| 電池材料試験 | 特定のガス流条件下での正極/負極材料の焼成および焼結。 | 大容量チャンバーにより、高効率なバッチ処理が可能。 |
技術仕様
| パラメータグループ | 仕様詳細 | 値 |
|---|---|---|
| モデル識別 | 製品番号 | TU-49 |
| 温度指標 | 最高動作温度 | 1200 °C（1時間未満） |
| 連続動作温度 | 1100 °C | |
| 最大昇温速度 | ≤ 20 °C / 分 | |
| 温度精度 | +/- 1 ºC | |
| 加熱ゾーン | ゾーン数 | 6つの独立したゾーン |
| 各ゾーンの長さ | 300 mm (11.8") | |
| 総加熱長 | 1800 mm (72") | |
| 恒温ゾーン | 1525 mm (60") ※全ゾーン同設定時 | |
| 寸法・材質 | 炉構造 | 省エネ断熱材付き二重鋼製ケース |
| チューブサイズ | 101.6 mm 外径 x 92 mm 内径 x 2540 mm 長 (4" x 3.6" x 100") | |
| 加熱チャンバーサイズ | 1828 mm 長 x 140 mm 直径 (72" x 5.5") | |
| 断熱材 | 高純度繊維状アルミナ | |
| 制御システム | コントローラータイプ | 6つの30セグメントPIDデジタルコントローラー |
| 熱電対タイプ | 6つのKタイプ（ゾーンごとに1つ） | |
| 遠隔制御 | RS485ポート（PCソフトウェア互換） | |
| 電気データ | 電圧 / 相 | AC 208-240V, 三相, 50/60 Hz |
| 総電力 | 最大13 KW | |
| ゾーンあたりの電力 | 各加熱ゾーン2 KW | |
| 真空・雰囲気 | 標準フランジセット | KF25ポート付きステンレス製真空フランジ |
| ガス入口 | ニードルバルブ付き1/4"パイプポート | |
| 圧力監視 | 統合型機械式圧力計 | |
| 最大真空度 | ポンプ性能に依存（安全のため標準 <0.2 bar） | |
| コンプライアンス | 認証 | CE認証取得済み（ご要望に応じてNRTL/CSA対応可） |
TU-49を選ぶ理由
- 優れた熱的汎用性：ユニークな6ゾーン構造により、チューブ炉で利用可能な最も複雑な温度プロファイリングを実現。単一または二重ゾーンユニットでは不可能な成果を研究者に提供します。
- 工業グレードの構造：高密度アルミナファイバーと堅牢な分割ケース設計により、構造的完全性を損なうことなく、過酷な連続高温動作に耐えるよう設計されています。
- スケールに応じた精密さ：1.5メートルの範囲で+/- 2℃の均一性を維持し、大規模サンプルやマルチウェハーバッチに対して同一の熱処理を保証。これは工業的な品質管理において重要な要素です。
- 将来を見据えた拡張性：マスフローコントローラーや高度な真空ポンプの統合、PCベースの自動制御への移行など、研究室のニーズに合わせて成長できるように設計されています。
- 信頼できる技術サポート：高温システムにおけるTHERMUNITSの深い専門知識に裏打ちされており、すべてのユニットに迅速な技術支援と高品質な交換部品の提供が保証されています。
この超長尺炉システムへの投資は、最も厳しい熱処理要求を満たす高性能なツールを施設に備えることを意味します。お見積もりのご依頼や、特定の用途に合わせたカスタマイズ構成のご相談は、今すぐ当社のエンジニアリングチームまでお問い合わせください。
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