1200°C 10ゾーン分割型チューブ炉(水平・垂直設置対応、マルチゾーン熱勾配および大口径材料処理用)

管状炉

1200°C 10ゾーン分割型チューブ炉(水平・垂直設置対応、マルチゾーン熱勾配および大口径材料処理用)

商品番号: TU-C10

最高動作温度: 1200°C 加熱ゾーン構成: 10個の独立ゾーン(全長1470mm) 取り付け構成: 水平および垂直のデュアルポジション
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製品概要

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この高性能熱処理システムは、材料科学研究や産業用パイロット生産の厳しい要求に応えるべく設計された、マルチゾーン炉工学の頂点に立つ製品です。10個の独立制御可能な加熱ゾーンを堅牢な分割型チューブ構造に統合することで、研究者は複雑な温度勾配の形成や、非常に長い均熱領域の維持が可能となります。デュアル軸設計により水平・垂直の両方で運用できるため、蒸気輸送から垂直結晶成長まで、多様なプロジェクトに取り組む研究室にとって非常に汎用性の高い資産となります。

先進的な材料合成と熱プロファイリングのために構築された本システムは、精度と再現性が不可欠な環境において優れた性能を発揮します。化学気相成長(CVD)、ウェハーのアニール処理、あるいは制御された実験室環境での産業規模の熱処理プロセスのシミュレーションなど、一貫したパフォーマンスを提供します。分割型炉設計により、サンプルの迅速な出し入れや冷却が容易になり、実験ワークフローの効率化と、高温材料科学における重要な研究プロジェクトのスループット向上が図れます。

信頼性は、この熱処理プラットフォームの設計の中核です。産業グレードのコンポーネントと洗練された制御インターフェースにより、長時間の高温サイクルでも安定した動作を保証します。炉筐体の構造的完全性と統合された熱電対の精度が、繊細な産業R&Dに必要な自信を提供します。大口径の処理能力と広大な全加熱長を備えた本装置は、小規模な実験室レベルから産業グレードの材料生産への橋渡しを行い、研究成果を効率的にスケールアップ可能です。

主な特長

  • 独立した10ゾーン熱アーキテクチャ: 長さ120mmの10個の個別加熱ゾーンを30mmのバリアで分離した構成です。これにより、精密で非線形な温度プロファイルの作成や、800°Cで1000mmを超える非常に長い均熱領域の確立が可能となり、複雑な熱処理に対して比類のない柔軟性を提供します。
  • デュアル軸構成の汎用性: 柔軟な取り付けシステムにより、水平および垂直の両方の向きで操作可能です。この適応性は、ブリッジマン法による結晶成長や水平気相輸送などの特殊な用途に不可欠であり、変化する研究要件に合わせて装置を運用できます。
  • 高度なPID制御ロジック: 10個の各ゾーンは、50セグメントのプログラムが可能な高精度温度コントローラーによって個別に制御されます。統合されたPIDループにより、温度変動を1°C未満に抑え、繊細な材料合成や再現性の高い産業シミュレーションに必要な厳密な安定性を実現します。
  • 堅牢な分割型チューブ設計: 炉は分割開閉機構を備えており、サンプルの迅速なロード/アンロードや、処理後の冷却速度の向上が可能です。この設計により、高純度アルミナ処理チューブの交換や熱素子の点検も簡素化されます。
  • 大容量処理環境: 標準の処理チューブ径100mm、全加熱長1470mmを備え、大規模なサンプルや大量のバッチ処理に対応可能。材料研究部門や産業ラボの生産性を大幅に向上させます。
  • 精密な雰囲気制御: 高耐久ステンレス製フランジとISO100-Kポートを装備し、メカニカルポンプ使用時に5e-2 torrまでの高真空動作をサポート。1/4インチ圧縮継手による正確なガス供給により、不活性、酸化、または真空下など、厳格な雰囲気制御が可能です。
  • 包括的な熱モニタリング: 10個のK型熱電対が戦略的に配置され、各ゾーンのリアルタイムフィードバックを提供します。この広範な監視機能により、熱ドリフトを即座に補正し、1470mmの全加熱長にわたって確立された温度勾配の完全性を維持します。
  • 産業用通信統合: リモート通信とデータロギング用のRS-485シリアルポートを搭載。PCによる集中制御が可能で、サイクルの監視、複雑な熱レシピの保存、およびすべての熱処理パラメータの完全なトレーサビリティを確保できます。

用途

用途 説明 主なメリット
物理気相輸送 (PVT) 高純度結晶や2D材料の成長のための急峻な勾配の確立。 昇華および堆積速度の精密な制御。
化学気相成長 (CVD) 制御されたガス流および真空下での大規模コーティングと材料合成。 広い表面積にわたる高い均一性による安定した膜質。
産業プロセスシミュレーション バッチ式ラボ設定で連続産業用コンベア炉を模倣。 ラボから工場フロアへの正確な熱レシピのスケールアップ。
全固体電池研究 セラミック電解質および電極材料の高温焼結・アニール。 均一な熱分布による電池コンポーネントの構造的完全性の確保。
垂直ブリッジマン成長 垂直方向を利用し、制御された温度勾配の中をるつぼを移動。 単結晶成長および凝固研究のための最適化された条件。
半導体アニール シリコンまたは化合物半導体ウェハーの迅速または制御された熱処理。 卓越した安定性により基板の熱応力や欠陥を防止。
触媒試験 異なる温度ゾーンにわたる触媒性能の高スループット評価。 単一サイクル内での複数パラメータの同時試験。

技術仕様

パラメータ TU-C10の仕様
モデル名 TU-C10
最高温度 1200°C
常用温度 1100°C
加熱ゾーン構成 10独立ゾーン
各ゾーンの長さ 120 mm
ゾーン間隔 30 mm
全加熱長 1470 mm
均熱長 <1000 mm @ 800°C ± 2°C
処理チューブ寸法 Ø100 × Ø92 × 2000 mm (他のサイズも対応可)
設置方向 水平および垂直
温度制御 10x PIDコントローラー、各50セグメントプログラム可能
温度精度 ± 1 ºC
熱電対タイプ 10x K型
真空性能 5e-2 torr (メカニカルポンプ使用時)
最大圧力 < 3 psig
フランジ設計 ISO100-KポートおよびKF25真空ポート付きステンレス製
ガス入出力 1/4" 圧縮チューブ継手
電源要件 208-240VAC, 3相, 50/60 Hz, 40 A
最大消費電力 14 kVA
通信インターフェース RS-485 シリアルポート
準拠規格 CE認証 (ご要望に応じてNRTL/UL/CSA対応可)

TU-C10を選ぶ理由

  • 比類のない勾配の柔軟性: 10ゾーン設計により、現在のラボ用炉において最も細かな温度プロファイル制御が可能となり、単純なシステムでは実現できない高度な材料合成を実現します。
  • 信頼性のための設計: 高品質な熱素子と高度な断熱材を使用しており、最も過酷な産業研究環境においても長寿命と動作の一貫性を維持できるように構築されています。
  • 汎用性の高いデュアル方向シャーシ: 水平・垂直構成を切り替えられるため、複数の専用炉を用意する必要がなく、学際的な研究室にとって費用対効果が高く省スペースなソリューションとなります。
  • 精度と安定性: ±1°C以内の精度を維持するPIDループにより、研究者は熱プロファイルが絶対的な精度で実行されることを確信でき、常に再現性の高い結果を保証します。
  • 完全なカスタマイズとサポート: 特殊なチューブ径や雰囲気制御システムを含む包括的なカスタマイズオプションを提供し、迅速な技術サポートチームがバックアップします。

当社のエンジニアリングチームが、お客様の特定の材料研究ニーズに合わせてこの高度な熱処理プラットフォームを構成するお手伝いをいたします。技術的なご相談や正式な見積もりについては、今すぐお問い合わせください。

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