1200°C 3ゾーン分割式管状炉（加熱長18インチ、真空フランジ付き）

製品概要

この工業グレードの3ゾーン分割式管状炉は、材料科学や高度な研究環境における高精度な熱処理のために設計されています。サンプルのアニーリング、拡散、焼結を促進するように設計されたこの装置は、最大1200°Cまでの多様な雰囲気処理のための汎用性の高いプラットフォームを提供します。分割可能な加熱チャンバーにより、急速冷却と容易なサンプル装填が可能になり、高いスループットと厳密な熱プロファイルの両方を必要とするラボにとって不可欠なツールとなります。その堅牢な構造により、過酷なデューティサイクルの下でも長期的な動作安定性が保証されます。

このシステムの核心的な価値は、3ゾーン加熱構成にあります。これにより、ユーザーは精密な温度勾配を設定したり、18インチの範囲にわたって非常に長い均熱帯を維持したりすることができます。この機能は、化学気相成長（CVD）プロセス、結晶成長、および温度の均一性や特定の温度ステップが必須となる複雑な熱処理において極めて重要です。性能を損なうことなくコンパクトな設置面積を実現したこのユニットは、半導体研究、セラミックス加工、および冶金分析のための高効率なソリューションとして機能します。

信頼性は、この熱処理ユニットの設計の基礎です。頑丈な二層スチールケースと統合された冷却システムで構築されたこの装置は、長時間の高温運転中でも低い外表面温度を維持します。高純度アルミナファイバー断熱材とモリブデン添加加熱要素の統合により、優れた熱効率と迅速な応答時間が提供されます。調達チームは、このシステムが現代の産業R&Dの厳しい基準を満たすように設計されており、毎年一貫した再現性のある結果を提供することを知って、自信を持って指定することができます。

主な特徴

• 独立した3ゾーン温度制御： 加熱チャンバーは3つの独立したゾーン（各6インチ）に分かれており、それぞれが専用のマイクロプロセッサベースのPIDコントローラによって制御されます。これにより、精密な熱勾配の作成や、最大200mmの非常に安定した均熱帯の形成が可能になり、複雑な雰囲気実験において比類のない柔軟性を提供します。
• 分割式チャンバー構造： 炉はヒンジ付きの分割カバー設計を採用しており、プロセスチューブに簡単にアクセスできます。この構造は、熱電対の設置やサンプルの装填を簡素化するだけでなく、プロセス完了後のチューブの急速冷却を可能にし、サイクルタイムを大幅に短縮します。
• 高度な安全インターロックシステム： 統合された安全センサーが、炉のカバーが開かれるたびに加熱要素への電力を自動的に遮断します。この保護メカニズムは、高電圧コンポーネントへの偶発的な接触を防ぎ、必要なチャンバーへのアクセス中に放射熱からオペレーターを保護します。
• 精密PID制御： 3つのコントローラのそれぞれが、高度な昇温および保持プロファイルのために30のプログラム可能なセグメントを提供します。オートチューニングPID機能により、±1°C以内の温度精度が保証され、オーバーシュートを排除し、繊細な材料合成に必要な熱安定性を提供します。
• 高性能加熱要素： モリブデンを添加した鉄・クロム・アルミ合金を使用した加熱要素は、長寿命と迅速な熱応答のために設計されています。これらの要素は、1200°Cまでの温度での酸化に耐えながら、プロセスチューブへの放射熱伝達を最大化するように戦略的に配置されています。
• 二層式強制空冷： 炉のハウジングは二層スチールケースで構成されています。統合された冷却ファンが層間に空気を循環させ、外殻を触れても安全な温度に保ち、内部の電子部品を熱による劣化から保護します。
• 多様な真空およびガス処理： システムには、二重高温シリコンOリングを備えたステンレス鋼304真空フランジが標準装備されています。これらのフランジは、10E-5 torr（ターボポンプ使用時）までの真空度をサポートし、精密な雰囲気制御のための統合ニードルバルブと圧力計が含まれています。
• プレミアム断熱材： 炉の内部には高純度繊維状アルミナ断熱材が裏打ちされています。この材料は、熱容量が小さく、優れた断熱特性を備えているため、消費電力を大幅に削減し、最大20°C/分の高速昇温を可能にします。
• デジタル通信とPC統合： 各ユニットにはRS485通信ポートが装備されており、リモート監視とデータロギングが可能です。オプションのソフトウェアパッケージを使用すると、ユーザーは中央のコンピュータワークステーションから熱処理レシピを管理し、リアルタイムデータを記録できます。
• カスタマイズ可能なチューブ径： さまざまなサンプルサイズとスループット要件に対応するため、システムは外径60mm、80mm、および100mmの石英チューブと互換性があります。各構成には、熱放射を最小限に抑え、フランジシールを保護するための適合するセラミックチューブブロックが含まれています。

用途

技術仕様

システム構成および電気仕様

熱性能

チューブおよびフランジのバリエーション

制御システムとインターフェース

選ばれる理由

この3ゾーン分割式管状炉に投資することで、ラボに精度と耐久性のために設計された高性能熱システムが確実に装備されます。標準的なシングルゾーン炉とは異なり、このシステムは、複雑な雰囲気実験や勾配ベースの合成を極めて高い精度で実施するために必要なモジュール性を提供します。分割カバー設計により、石英プロセスチューブの急速冷却と容易なメンテナンスが可能になり、ラボの生産性が大幅に向上します。

• 優れた熱工学： 高純度繊維状アルミナと特殊なモリブデン添加加熱要素の使用により、炉の構造的完全性を損なうことなく迅速な熱サイクリングを実現します。
• 安全第一の設計： UL対応コンポーネント、CE認証、および統合されたインターロック保護を備えたこのユニットは、産業および学術研究施設の厳格な安全要件を満たしています。
• 精密な雰囲気制御： 付属のSS304真空フランジと、ガスフローまたは高真空下での動作能力により、多様な材料研究用途向けの真に汎用性の高いプラットフォームとなっています。
• 長期的な信頼性： すべてのシステムは出荷前に温度安定性と真空の完全性がテストされており、装置が到着してすぐに本格的な運用ができることを保証します。
• ワークフローに合わせてカスタマイズ可能： デジタル分子ポンプのアップグレードから、PCベースのリモートコントロールおよびデータロギングソフトウェアまで、このシステムは特定の研究または生産ニーズに合わせて調整できます。

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