高温材料合成用、オプションの石英管および真空フランジシステム付き 24インチ 3ゾーン分割式チューブ炉

製品概要

この高性能熱処理システムは、先端材料科学研究および産業R&D向けに設計されています。24インチの加熱長を3つの独立制御ゾーンに分割した構成により、研究者は精密な温度勾配を作成したり、非常に長い均一な温度フラットゾーンを維持したりする柔軟性を得られます。炉本体は分割可能な設計で、急速冷却とプロセスチューブへの容易なアクセスを実現し、各種ガス雰囲気下での試料のアニーリング、拡散、焼結プロセスのスループットを大幅に向上させます。

高純度環境向けに最適化された本装置は、ACS Nano などの査読付き学術誌で報告されている Ta および Nb ドープ MoS2 などの先端材料合成に広く利用されています。本システムは、高効率断熱材と先進的なマイクロプロセッサベース PID 制御を統合し、1200°C まで安定した性能を確保します。堅牢な機械構造と精密電子制御を組み合わせることで、半導体、電池研究、ナノテクノロジーに注力する研究室の中核装置として機能し、繊細な化学気相成長（CVD）および物理気相成長（PVD）プロセスに必要な信頼性を提供します。

要求の厳しい産業環境で長期使用できるよう設計されており、二重構造のスチールケースと省エネ型の高純度繊維状アルミナ断熱材を採用しています。この構造により、熱損失を最小限に抑えつつ、外装表面温度を低く保ち、作業者の安全性を確保します。日常的な熱処理から複雑な多段階合成まで、本システムは、現代の材料工学において再現性の高い高品質な結果を得るために不可欠な熱的一貫性と雰囲気の完全性を提供します。

主な特徴

• 独立した3ゾーン熱管理: 24インチの総加熱長は3つの区画（6" + 12" + 6"）に分かれており、それぞれに専用コントローラーとK型熱電対が装備されています。これにより、高度な温度勾配の形成や、最大限に広い一定温度ゾーンの確保が可能です。
• 高精度PIDマイクロプロセッサ制御: 先進のMTE認証コントローラーは自己調整PIDアルゴリズムを採用し、全動作範囲で±1°Cの精度を維持。温度オーバーシュートを効果的に排除し、プロセスの安定性を確保します。
• プログラム可能な熱プロファイル: 各ゾーン最大30ステップのプログラムに対応し、特殊な材料変換や相転移研究に必要な複雑な加熱・保持・冷却サイクルを自動化できます。
• 雰囲気の多用途性と真空保持性: SS 304 ステンレス製真空フランジ2組と高温対応シリコンOリング2重シールを備え、機械式ポンプで10E-2 torr、ターボ分子ポンプシステムで最大10E-5 torrの真空到達が可能です。
• 優れた断熱性能: 内部には省エネ型の高純度繊維状アルミナ断熱材を使用しており、消費電力を削減しつつ、構造的完全性を損なうことなく毎分最大20°Cの急速加熱を実現します。
• 強化された安全性と冷却設計: 二重構造のスチールケースと一体型デュアル冷却ファンにより、高温での長時間運転中でも外装を安全に触れる状態に保ちます。また、内蔵の過昇温保護および熱電対断線保護により、無人運転時の安全性を確保します。
• 柔軟な分割ヒンジ構造: 炉本体は頑丈なヒンジで開閉できる設計で、石英管の迅速な設置・取り外しを容易にし、処理後の試料を素早く冷却できます。これは特定の材料相の保持に重要です。
• デジタル接続性と遠隔監視: RS485通信ポートにより、PCベースのソフトウェアと連携してリアルタイムのデータ記録、プロファイル管理、遠隔監視が可能となり、研究条件の包括的な記録を実現します。
• 最適化された発熱体: Moを添加したFe-Cr-Al合金発熱体を採用し、1100°Cで連続運転しても安定した放射熱と長寿命を提供します。

用途

技術仕様

モデルバリエーションと管寸法

このシステムを選ぶ理由

• 比類なき熱的柔軟性: 独立した3ゾーン制御により、非常に均一な温度ゾーンを大きな試料向けに提供することも、材料輸送研究向けの複雑な勾配を作成することも可能で、卓越した柔軟性を実現します。
• 高品質な設計と構造: 産業グレードの部品と二重シェル安全設計で構成されており、継続的なR&Dおよび産業生産サイクルの厳しい条件に耐えられるよう設計されています。
• 優れた雰囲気制御: 標準のステンレス製真空フランジと高品質Oリングにより、リークのない環境を確保し、酸化に敏感な材料の合成や高純度の化学気相成長に不可欠です。
• 実証された研究性能: 本プラットフォームは、主要な学術機関や世界各地の研究機関から信頼されており、遷移金属ジカルコゲナイドや先端電極触媒に関する高インパクト研究で使用されてきました。
• 拡張可能なカスタマイズ: 複数の管径オプション（60mm〜130mm）と、マスフローメーターや高真空ステーションなどの互換性のあるモジュラーアクセサリーにより、あらゆる材料科学研究室の特定要件に合わせて調整できます。

当社のエンジニアリングチームは、お客様の特定の熱処理ニーズに合わせたカスタム構成や技術統合をサポートする準備ができています。技術相談やお見積りは、ぜひ本日お問い合わせください。