三ゾーン加熱 分割式縦型チューブ炉 1700 高温真空雰囲気熱処理システム

製品概要

この高性能熱処理システムは、材料科学研究および工業用熱処理の頂点を成す製品です。3つの独立した加熱ゾーンを備えた縦型の分割式チューブ炉として設計されており、1700°Cまでの厳しい要求に応えるよう構築されています。縦方向の配置と分割クラムシェル設計により、特に迅速な急冷や複雑な縦方向移動機構の統合を必要とするセットアップにおいて、比類のない汎用性を提供します。このシステムは、高真空または精密に制御された流通ガス条件下で試料を加熱するための安定した環境を提供し、次世代材料の開発における中核的なツールとなります。

先端研究所、半導体メーカー、冶金研究施設を対象とした本装置は、単結晶成長、薄膜成膜、均質化プロセスに必要な精度を提供します。3つの独立した加熱ゾーンを活用することで、単一ゾーン炉の熱的制約を克服し、恒温領域を大幅に拡大します。これにより、試料のサイズや加熱室内での位置にかかわらず、均一な熱エネルギーが供給され、厳格な研究開発環境における科学データの再現性確保に不可欠です。

B2Bの産業バイヤーは、このシステムの堅牢な構造と優れたエンジニアリングに信頼を置くことができます。高純度アルミナファイバー断熱材と二重層冷却シェルを採用しており、連続的な1600°C高温サイクル中でも運転の安定性と外装の安全性を維持します。高精度PIDコントローラと高度な安全アラームの統合により、一度サイクルを設定すれば最小限の監視で運転でき、要求の厳しい産業スケジュールや重要な材料処理に求められる信頼性と長期的一貫性を提供します。

主な特長

• 三ゾーン独立熱制御: 各200mmの加熱ゾーンは独立PIDコントローラで管理され、工程要件に応じて、長い均一温度プロファイルまたは精密な温度勾配のいずれも構築できます。
• 高精度分割コア設計: 縦型炉本体はヒンジ式で簡単に開閉でき、チューブへの迅速なアクセス、試料投入の簡素化、複雑な縦方向昇降や急冷機構を妨げずにプロセスチューブを交換できます。
• 高度な高純度アルミナファイバー断熱: 本システムは、熱損失を最小限に抑え、消費電力を低減し、炉の構造的完全性を保ちながら迅速な昇温を実現する、省エネルギーのA級アルミナファイバーを採用しています。
• 高真空一体型シール: ステンレス製真空シーリングフランジ、バルブ、ゲージを備え、分子ポンプと組み合わせることで10E-5 Torrの真空度に達し、汚染に敏感なプロセスに最適です。
• プログラム可能なPID自動化: 制御システムは30セグメントのプログラムロジックを備え、昇温速度、保持時間、冷却曲線を精密に管理し、複数バッチにわたって一貫した結果を保証します。
• 安全重視の二重層冷却シェル: 内外シェル間に統合された空冷システムにより、炉外装を安全な温度に保ち、作業者を保護するとともに内部電子部品の寿命を延ばします。
• 白金-ロジウム熱電対の精度: B型二重白金-ロジウム熱電対を採用し、連続的な極高温下でも高精度な温度フィードバックと長期安定性を提供します。
• 統合安全保護機能: 過熱および熱電対断線を検出する内蔵機構が自動的に電源を遮断して装置損傷を防ぎ、長時間の無人加熱サイクルでも安全に運転できます。
• 縦型急冷対応: 縦方向配置は、オプションの昇降機構を介して試料を高温域から冷却媒体へ落下または下降させる急冷実験を容易に行えるよう、特別に設計されています。

用途

技術仕様

TU-C23を選ぶ理由

• 優れた熱均一性: 三ゾーン独立加熱アーキテクチャにより、単一ゾーン方式と比べて大幅に長い恒温領域を提供し、高精度な拡散および焼鈍研究に不可欠です。
• 多用途な縦型構成: 縦方向での試料取り扱い、結晶成長、急冷を必要とするプロセス向けに特別設計されており、水平炉では実現できない柔軟なセットアップが可能です。
• 高品質な材料の完全性: 高純度セラミックファイバー断熱材から高精度B型熱電対まで、すべての部品は1700°Cの閾値での耐久性と性能を重視して選定されています。
• シームレスなシステム統合: 真空フランジの搭載と各種移動機構（急冷/昇降）との互換性により、複雑な実験環境向けのターンキーソリューションとなっています。
• 産業グレードの安全性と信頼性: 高度な過昇温保護と二重シェル冷却設計を備え、本システムは高スループットの産業・学術研究開発ラボでの厳格な使用に対応できるよう作られています。

カスタム構成、移動機構との統合、またはTU-C23システムの正式なお見積りをご希望の場合は、当社の技術営業チームまでご連絡のうえ、お客様固有のマルチゾーン処理要件についてご相談ください。