高温1600℃ 分割型チューブ炉 真空フランジ・バルブ付 オプション:60mm/80mmアルミナチューブ

管状炉

高温1600℃ 分割型チューブ炉 真空フランジ・バルブ付 オプション:60mm/80mmアルミナチューブ

商品番号: TU-69

最高温度: 1550°C (エレメントの定格は1650°C) 発熱体の種類: カンタル GLOBAR SG 1650グレード SiC 温度制御精度: +/- 1 ºC
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製品概要

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この高性能な分割型アルミナチューブ炉は、材料科学および産業研究開発における熱工学の頂点を示す製品です。実験室での過酷な熱処理要求に応えるよう設計されており、独自の分割フレーム構造により反応チャンバーへの迅速なアクセスが可能です。このアクセシビリティにより、プロセスチューブやサンプルの挿入・取り出しが容易になり、時間と精度が重要となる複雑な実験セットアップに不可欠なツールとなります。汎用性と優れた熱安定性を兼ね備えた本システムは、研究者がハードウェアの制約ではなく、研究成果に集中できる環境を提供します。

制御された雰囲気や高真空環境を必要とする環境向けに設計されており、半導体開発、セラミック焼結、先端冶金などの分野で広く利用されています。最大の特長は、堅牢な真空シールシステムにより、最大1600℃までの温度を優れた均一性で達成できる点です。化学気相成長(CVD)、焼成、アニールなど、どのようなプロセスにおいても、実験の完全性とプロセスのスケーラビリティを保証する再現性の高い信頼できる環境を提供します。二重層スチールケーシングと統合された空冷システムにより、内部チャンバーが極高温に達しても、外部はオペレーターが安全に操作できる温度に保たれます。

信頼性は、この熱処理システムの証です。最高品質の加熱素子と高度な耐火コーティングを使用しており、過酷な産業用R&D環境での連続運転に耐えうる設計となっています。ステンレス製の真空フランジから高精度温度コントローラーに至るまで、すべてのコンポーネントは、負荷がかかる状況下での耐久性と性能を基準に選定されています。安全性と精度を最優先したエンジニアリング基準に基づき、最小限のメンテナンスで長期的なサービスを提供するよう設計されているため、安心して導入いただけます。

主な特長

  • 高精度な分割型設計: 革新的な分割型炉チャンバーにより、プロセスチューブのロードとアンロードが容易です。実験終了後に素早くサンプルを確認する必要がある場合や、アルミナチューブ内に繊細な事前組み立て済み機器を設置する場合に特に有効です。
  • Kanthal GLOBAR SG 1650グレードSiC素子: 16本の高品質炭化ケイ素(SiC)加熱素子を搭載し、急速加熱と優れた長寿命を実現します。これらの素子は、1600℃に近い温度でも安定した抵抗率と熱出力を維持できる能力を基準に選定されています。
  • 高度なPID温度制御: 統合されたFA-YD518P-AGコントローラーは、昇温、冷却、保持のための30セグメントプログラム機能を備えています。+/- 1℃の精度とオートチューニング機能により、繊細な材料合成に必要な精密な熱プロファイルを提供します。
  • 優れた真空シール構造: 真空計とバルブを内蔵したスマートなステンレス製真空シールフランジが付属しています。1/4インチ配管およびKF25アダプターに対応しており、分子ポンプと組み合わせることで最大10^-5 torrの真空レベルを達成可能です。
  • 効率的な断熱材: チャンバーには高純度繊維状アルミナ断熱材を使用しており、熱損失とエネルギー消費を大幅に削減します。この素材により、熱がプロセスゾーン内に集中し、環境負荷の低減と熱効率の向上を実現します。
  • 強化された耐火保護: 炉内壁と加熱素子の両方に特殊な耐火コーティングが施されています。このコーティングは、化学蒸気や高温酸化からコンポーネントを保護することで、機器の動作寿命を大幅に延ばします。
  • 産業用安全基準: 二重層スチールケーシングと空冷ファンにより、外表面温度を60℃以下に維持します。また、過昇温防止機能や熱電対断線アラームを内蔵しており、機器と実験環境の両方を保護します。
  • 材料特化型アルミナコンポーネント: 高品質のアルミナチューブ(60mmまたは80mm径から選択可能)と繊維状セラミックチューブブロックが含まれています。これらのブロックは、熱放射を遮断し、シールフランジを保護し、均一な恒温ゾーンを確保するために不可欠です。
  • 規格適合と認証: 本炉はCE認証を取得しており、厳格な欧州の安全および品質基準を満たしています。北米向けの特定のコンプライアンスが必要な施設には、現地の安全規制を満たすためのNRTLまたはCSA認証をオプションとして提供可能です。
  • 柔軟な通信インターフェース: コントローラーには標準でDB9/PC通信ポートが装備されています。EurothermコントローラーにアップグレードすることでLabVIEWとの互換性が得られ、産業用ネットワーク上での高度なデータロギングや遠隔プロセス管理が可能になります。

用途

用途 説明 主なメリット
化学気相成長 (CVD) 基板上に薄膜を堆積させるための精密なガス流量および温度制御。 高い均一性と真空保持力により、高純度な膜成長を保証。
先端セラミック焼結 技術セラミックスの高温処理による高密度化。 1600℃の能力により、複雑な酸化物や炭化物材料の焼結が可能。
半導体アニール シリコンウェハーや化合物半導体の熱処理による電気的特性の改質。 精密なPID制御が熱衝撃を防ぎ、再現性の高い結晶構造を確保。
触媒合成 化学工学用触媒前駆体の雰囲気制御焼成。 真空フランジにより、特定の還元性ガスや酸化性ガスの導入が可能。
電池材料研究 厳密に制御された熱プロファイル下での正極・負極粉末の合成。 分割型設計により、実験反復のための迅速なサンプル処理が可能。
冶金熱処理 真空または不活性ガス中での高性能合金の焼戻しおよび焼き入れ研究。 高温金属処理中の酸化やスケール発生を防止。
カーボンナノチューブ製造 制御されたチューブ環境下での炭素源の高温熱分解。 安定した390mmの加熱ゾーンにより、大量のサンプルバッチで一貫した収率を確保。

技術仕様

仕様 TU-69-60 TU-69-80
チューブ材質 高純度アルミナ 高純度アルミナ
チューブ寸法 外径: 60mm x 内径: 54mm x 長さ: 1000mm 外径: 80mm x 内径: 74mm x 長さ: 1000mm
最高加熱温度 1550°C 1550°C
連続使用温度 (大気) 1500°C 1500°C
連続使用温度 (真空) 1400°C 1400°C
昇温速度 ≤ 10°C/分 ≤ 10°C/分
加熱ゾーン全長 390mm 390mm
恒温ゾーン (+/-1°C) 160mm 160mm
加熱素子 16本 Kanthal GLOBAR SG 1650 SiC 16本 Kanthal GLOBAR SG 1650 SiC
温度コントローラー FA-YD518P-AG (30セグメント) FA-YD518P-AG (30セグメント)
制御精度 +/- 1°C +/- 1°C
真空シール ゲージ・バルブ付ステンレスフランジ ゲージ・バルブ付ステンレスフランジ
真空ポート 1/4"配管 & KF25アダプター 1/4"配管 & KF25アダプター
到達真空度 10^-2 torr (メカニカル) / 10^-5 torr (ターボ) 10^-2 torr (メカニカル) / 10^-5 torr (ターボ)
リークレート < 5 mtorr / 分 < 5 mtorr / 分
入力電圧 208 - 240VAC 単相, 50/60Hz 208 - 240VAC 単相, 50/60Hz
定格電力 6.0 KW 6.0 KW
適合規格 CE認証取得 CE認証取得

本炉を選ぶ理由

  • プレミアムエンジニアリング: Kanthal GLOBAR SiC加熱素子と高純度アルミナ断熱材を使用しており、性能のボトルネックが許されない高稼働率の産業環境向けに設計されています。
  • 卓越した熱精度: 30セグメントPID制御システムは、論文レベルの研究や重要な産業生産に不可欠な精度と再現性を提供します。
  • 多様な処理環境: 高真空、不活性ガスフロー、大気中など、どのようなプロセスであっても、統合されたステンレス製フランジシステムが、あらゆる熱処理ニーズに対応する柔軟なプラットフォームを提供します。
  • 堅牢な耐久性: 特殊な耐火コーティングと二重層スチールケーシングの組み合わせにより、炉は長年にわたって研究室の生産的な資産として機能し、構造的および運用の完全性を維持します。
  • 専門的なカスタマイズとサポート: Eurothermコントローラー、LabVIEWソフトウェアキット、多様なガス供給システムなど、幅広いオプションアップグレードを提供しており、お客様の特定のプロセス要件に合わせて機器を完璧にカスタマイズ可能です。

貴施設を熱処理の最前線へ。正式な見積もりや、研究目標に合わせたカスタマイズされた熱ソリューションのご相談については、今すぐ弊社の技術営業チームまでお問い合わせください。

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