3ゾーン石英管炉（3チャンネルガスミキサー、真空ポンプ、耐食性真空計付き）

製品概要

この高性能熱処理システムは、精密な雰囲気制御を必要とする高度な材料合成や化学気相成長（CVD）用途向けに設計されています。3ゾーン加熱アーキテクチャと高度なガス供給マニホールド、真空モニタリングスイートを統合することで、複雑な研究開発タスクのためのターンキーソリューションを提供します。その最大の価値は、高品質なナノチューブ、ナノワイヤ、グラフェンのような2D材料の成長に不可欠な、カスタマイズされた温度勾配や広範囲な等温ゾーンを作成できる点にあります。

専門的なR&Dラボ、半導体メーカー、産業用材料科学センターをターゲットとしており、拡散ドーピング、アニール、雰囲気熱処理などのプロセスに優れています。本システムは柔軟性を重視して設計されており、研究者は最大3種類の前駆体ガスを高精度で混合しつつ、内部圧力を厳密に制御できます。小規模な半導体製造から学術的な材料探索まで、様々な温度プロファイルや化学環境において、一貫した再現性の高い結果を保証します。

過酷な条件下での信頼性を考慮し、高度な空冷技術を備えた堅牢な二重層スチールケーシングを採用しており、長時間高温サイクル中でも外装が安全に触れられる温度に保たれます。高純度アルミナファイバー断熱材から耐食性真空センサーに至るまで、すべてのコンポーネントは最大限の長寿命と動作安定性を実現するために選定されています。次世代の材料科学に注力する研究室にとって、過酷な化学環境下でも一貫した性能を発揮する本装置は、研究の基盤となります。

主な特徴

• 独立制御可能な3ゾーン加熱: 3つの独立した加熱ゾーンを備えており、個別にプログラム可能です。これにより、精密な温度勾配や最大25インチ（約635mm）に及ぶ非常に長い等温ゾーンを作成でき、大型サンプルや複数のサンプルの均一な熱処理を保証します。
• 統合型3チャンネルガス混合: モバイルガス供給カートには、3つのコンパクトな直読式流量計と4つの圧力計が含まれており、複雑なCVDや反応性雰囲気プロセス向けに、最大3種類の異なるガスの同時モニタリングと精密な混合が可能です。
• 耐食性真空モニタリング: セラミックコーティングされたセンサーヘッドを備えたピラニ容量隔膜真空計を搭載しており、腐食性ガスが存在する場合でも正確な真空測定が可能で、モニタリングハードウェアの寿命を大幅に延ばします。
• 高度なPID自動制御: 3つの精密温度コントローラーは、30セグメントのプログラムが可能なPID自動制御を利用しており、加熱速度、冷却速度、保持時間を±1℃の精度で細かく管理できます。
• 高純度石英反応環境: 直径80mmの溶融石英管は、優れた耐熱衝撃性と化学的不活性を備えており、高純度材料合成の完全性を維持するために不可欠な、汚染のない反応チャンバーとして機能します。
• 分割型チャンバー設計: 炉殻は分割可能なカバー構造を採用しており、処理後の急速冷却が容易なほか、加熱アセンブリ全体を分解することなく反応管の取り付けや交換が可能です。
• 包括的な安全機能: 過熱アラーム、熱電対断線検知、過熱遮断などの保護メカニズムを内蔵しており、長時間保持の熱サイクル中でも無人での安全な運転が可能です。
• 堅牢な真空性能: 付属の120 L/minロータリーベーン真空ポンプとステンレス製真空フランジおよびバルブにより、10^-2 torrまでの真空度を24時間安定して維持できます。

用途

技術仕様

本システムを選ぶ理由

• 比類なき熱の多様性: 独立した3ゾーン制御により、研究者は複雑な産業用熱プロファイルをシミュレートしたり、標準的な単一ゾーン炉よりもはるかに優れた温度均一性を維持したりできます。
• 即時運用可能な統合型: 広範な組み立てが必要なモジュール式セットアップとは異なり、本システムはガス混合ステーション、真空ポンプ、高安定フランジを含む完全なテスト済みパッケージとして納品されるため、立ち上げ時間を劇的に短縮します。
• 優れた材料の完全性: 高純度石英反応チャンバーと特殊な耐食性真空センサーを使用することで、実験サンプルと装置ハードウェアの両方を、反応性化学蒸気による劣化から保護します。
• 精度と再現性: 高度なPIDコントローラーとNIST校正された温度プロファイルの組み合わせにより、すべての熱サイクルが極めて高い精度で実行されます。これは査読付き研究や産業用品質管理において重要な要素です。
• 将来を見据えた拡張性: LabViewによるPC制御、スライド式サンプルホルダー、酸素モニタリング統合などのオプションにより、プロジェクトの複雑化に合わせてユニットをアップグレードし、進化する研究要件に対応可能です。

当社のエンジニアリングチームが、お客様のプロセス要件の技術的検証をサポートいたします。詳細な見積もりや、材料科学のニーズに合わせたカスタマイズ構成については、今すぐお問い合わせください。