1200°C 3ゾーン垂直管状炉（2インチ石英管および真空フランジ付き）

製品概要

この高温垂直熱処理システムは、材料科学研究および産業用R&Dの厳しい要求を満たすように設計されています。分割フレーム垂直構成内に3つの加熱ゾーンを利用することで、本装置は物理気相成長法（PVD）、近接昇華法（CSS）、化学気相成長法（CVD）など、高純度熱処理のための最適化された環境を提供します。垂直設計は、重力を利用したサンプル移動、統合された急冷、または従来の水平炉では対応できない特殊な堆積形状を必要とするプロセスに特に有利です。

汎用性と性能を重視して設計されたこのシステムは、高度なナノ材料や薄膜コーティングの合成に不可欠な複雑な熱プロファイルの作成に優れています。高純度石英容器と精密設計された真空シールの統合により、研究者は高真空または制御されたガス環境下で安心して作業を行うことができます。装置のモバイルアーキテクチャにより、さまざまなラボ構成にシームレスに統合でき、集中的な熱処理サイクルに対して柔軟かつ堅牢なソリューションを提供します。

信頼性は本ユニットの設計の中心であり、二重層スチールハウジングと統合された空冷ファンを備えています。このエンジニアリングアプローチにより、最高温度での長時間の運転中でも外装は安全に触れられる温度に保たれます。3つの独立した精密コントローラーにより、システムは比類のない熱安定性と再現性を提供し、要求の厳しい産業および学術環境において、一貫性と高収率の実験結果を重視するラボにとって不可欠な資産となります。

主な特徴

• 3ゾーン独立熱制御： 3つの独立した加熱ゾーンにより、広い等温領域の作成や精密に制御された温度勾配の作成が可能であり、大きな基板全体での一貫性維持や成長プロセスにおける反応速度の制御に不可欠です。
• 精密な分割垂直アーキテクチャ： キャスター付きモバイルカートに取り付けられた分割カバー設計により、反応チャンバーへのアクセスが容易になり、垂直方向での特殊なサンプルホルダーやるつぼの装填が簡素化されます。
• 高度な断熱技術： 特殊な反射コーティングを施した高純度繊維状アルミナ断熱材により、エネルギー効率を最大化し、急速な昇温速度を確保しながらユニットの内部構造の完全性を保護します。
• 高完全性真空シール： 圧力計とニードルバルブを内蔵したデュアルステンレス製真空フランジを備えており、適切なポンプシステムと組み合わせることで10E-5 Torrまでの真空レベルをサポートします。
• 高度なPID計測： MET認証済みのコントローラーが、加熱、冷却、保持のための30のプログラム可能なセグメントを提供し、オートチューニング機能を使用して全動作範囲で±1°Cの精度を維持します。
• 統合された安全性と過熱保護： 内蔵の過熱アラームと熱電対断線保護システムにより、無人での安全な運転が可能となり、装置と貴重なサンプルの両方を保護します。
• 最適化された冷却ダイナミクス： ファン補助空冷を備えた二重層スチールケースにより、外表面温度を65°C以下に保ち、オペレーターの安全性を高め、ラボ環境への排熱を低減します。
• 耐久性の高い高合金発熱体： モリブデンをドープした1300°CグレードのFe-Cr-Al合金を使用しており、さまざまな大気条件下での長期的な耐久性と耐酸化性を備えています。

用途

技術仕様

TU-C12を選ぶ理由

TU-C12シリーズは、垂直熱処理エンジニアリングの頂点に立つ製品です。標準的な管状炉とは異なり、このシステムは精密な重力制御と、拡張された反応ゾーン全体にわたる優れた熱均一性を必要とする研究者のために最適化されています。3ゾーン構成により、ユーザーは熱場を極めて細かく操作でき、シングルゾーンユニットでは不可能な高品質の結晶構造の成長が可能になります。

Moドープ合金発熱体から高純度アルミナ断熱材に至るまで、高級な産業用コンポーネントで構築されたこの炉は、ラボの生産性に対する長期的な投資となります。分割カバー設計とモバイルカートへの搭載により、サンプルの交換やシステムのメンテナンスに伴う肉体労働が大幅に軽減されます。さらに、Eurotherm計測器やLabviewベースのソフトウェア制御へのアップグレードが可能であり、自動データ収集や高精度（+/- 0.1°C）を目指すラボにとって将来を見据えた選択肢となります。

信頼性、安全性、性能が妥協できない要素である場合、このシステムは世界クラスの結果を出すために必要な競争力を提供します。特定のプロセス要件やカスタムフランジの変更についてのご相談、またはラボのニーズに合わせた包括的な見積もりについては、今すぐ当社の技術チームまでお問い合わせください。