1200°C対応 3ゾーン管状炉 最大外径6インチ（チューブ・フランジ付き）

製品概要

この高性能熱処理システムは、材料科学研究および工業生産の厳しい要求を満たすよう設計されています。3ゾーン加熱構成と最大外径150mm（6インチ）の余裕ある処理能力を備えており、4インチウェハーのアニールを含む大規模なサンプル処理のための多用途なプラットフォームを提供します。独立して制御される3つの加熱ゾーンを利用することで、優れた温度均一性を実現したり、精密な温度勾配を作成したりすることが可能です。厳格な雰囲気制御と熱安定性が求められる複雑な熱処理サイクルにおいて、不可欠なツールとなります。

本システムは、半導体、航空宇宙、先端セラミックス産業など、幅広い用途向けに設計されています。化学気相成長（CVD）、高純度材料の焼結、金属部品の制御酸化など、どのような用途においても、再現性の高い信頼できる結果を提供します。堅牢な構造と洗練された制御インターフェースにより、次世代の高温材料開発において精度と拡張性が極めて重要なR&Dラボやパイロット生産ラインへのシームレスな統合が可能です。

長期的な運用信頼性を考慮して構築されたこの炉は、高品質の断熱材と高度な電力管理を採用し、過酷な条件下でも一貫したパフォーマンスを維持します。高純度アルミナ繊維断熱材の採用により、熱効率を確保しながら熱損失を最小限に抑え、エネルギー効率が高く、温度調整に対して非常に応答性の高いシステムを実現しています。ラボマネージャーや調達チームは、この装置によって安定した熱環境が提供され、重要な実験や生産バッチを熱変動や汚染から保護できることを確信いただけます。

主な特徴

• 3ゾーン独立制御： システムは3つの独立した加熱ゾーンを備えており、広範囲の均一温度エリアやカスタムの温度勾配を作成できます。この構成は、結晶成長や大規模バッチアニールなど、処理チューブの全長にわたって特定の温度プロファイルを必要とするプロセスに不可欠です。
• 高度なタッチスクリーンインターフェース： 7インチの高解像度タッチパネルが、システム全体の直感的な制御ハブを提供します。ワンクリックの開始/停止機能、リアルタイムのデータ監視、および複数の複雑な温度プログラムを事前保存する機能により、手動設定エラーの可能性を大幅に低減します。
• 精密なPID温度制御： 洗練されたPIDコントローラーとオートチューニング機能を備え、+/- 0.2°Cの温度精度を維持します。このレベルの精度は、わずかな偏差がサンプルの構造的完全性や電気的特性に影響を与える可能性のある繊細な材料処理において非常に重要です。
• 高純度Al2O3繊維断熱材： 炉内は省エネ型の高純度アルミナ繊維断熱材で覆われ、さらに酸化アルミニウムコーティングで強化されています。この組み合わせにより、ヒーターの寿命が延びるだけでなく、急速な昇温と優れた保温性が保証されます。
• 大口径処理能力： 外径最大150mm（6インチ）の石英チューブに対応するように設計されており、4インチウェハー処理や大型のバルク材料サンプルに最適です。アダプターを介してさまざまなチューブ径（80mm〜150mm）を使用できる柔軟性があり、進化する研究ニーズに適応可能な資産となります。
• 包括的なデータロギング： 統合された制御システムがプロセスデータを自動的に記録し、最大1ヶ月分の履歴を保存します。この機能は、工業認証や研究の再現性に不可欠な、詳細なプロセス後の分析および品質管理ドキュメントの作成を容易にします。
• 堅牢な真空および雰囲気シール： 真空または制御されたガス環境下での処理をサポートするために、高品質のステンレス製シールフランジが利用可能です。これにより、多様な化学反応に対応し、高温サイクル中の酸化を防ぐことができます。
• 安全第一の設計： 過熱および熱電対故障に対する保護メカニズムが標準装備されており、長時間の稼働時も安心です。システム設計は、圧力管理とガス流量制御のための特定のプロトコルを備え、安全な操作を重視しています。
• ソリッドチューブ断熱性能： ソリッドチューブ断熱設計は、標準的なスプリットチューブ設計と比較してより均一な温度ゾーンを提供し、放射熱が処理チューブの全周にわたって均等に分散されることを保証します。
• プログラム可能なセグメントの柔軟性： 50のプログラム可能なセグメントにより、非常に複雑な昇温・降温ランプをサポートします。これにより、工業的な熱サイクルを正確にシミュレーションし、脆性材料の熱衝撃を防ぐための緩やかで制御された冷却を行うことが可能です。

用途

技術仕様

TU-37が選ばれる理由

• 比類なき熱精度： TU-37シリーズは、シングルゾーンシステムに典型的な熱低下を排除する洗練された3ゾーンアーキテクチャを活用し、重要な工業プロセス向けに420mmもの広大な均熱ゾーンを提供します。
• 工業グレードのビルド品質： 高純度Al2O3繊維断熱材から高耐久ステンレスフランジに至るまで、システムのすべてのコンポーネントは、過酷なR&D環境での連続運用に耐える能力に基づいて選択されています。
• 拡張可能な処理能力： 6インチ（150mm）チューブを収容できる独自の能力により、研究者は装置プラットフォームを変更することなく、小規模な試験から4インチウェハー生産へとスムーズに移行できます。
• ユーザー中心のデジタル制御： タッチスクリーンインターフェースと自動データロギングにより、操作の学習曲線を低減し、コンプライアンスと品質保証のためにすべてのプロセスパラメータが細心の注意を払って記録されることを保証します。
• 多用途な雰囲気の柔軟性： プロセスが高真空、不活性ガス流、または特定の圧力管理を必要とする場合でも、システムの適応可能なフランジとポンプオプションは、多様な研究パスに対する将来を見据えたソリューションを提供します。

当社のエンジニアリングチームが、お客様の特定の要件に最適な熱処理ソリューションの構成をお手伝いします。技術的なご相談やTU-37システムの正式なお見積りについては、今すぐお問い合わせください。