1700℃ 高温縦型雰囲気制御炉 自動ボトムローディング式 13リットル真空熱処理システム

製品概要

この高温縦型雰囲気制御システムは、材料科学および産業研究開発のための熱工学の頂点に立つ製品です。複雑な焼結やアニールプロセスを容易にするよう設計されており、温度均一性と操作性を最大化する独自の縦型構成を採用しています。高度なボトムローディング機構を統合することで、繊細なサンプルの安全かつ安定した取り扱いを可能にし、加熱・冷却サイクル全体を通じて材料の完全性を維持します。高真空下でも制御された不活性ガス環境下でも、最も要求の厳しい技術的用途に必要な精度を提供します。

半導体製造、航空宇宙冶金、セラミック工学などの先端分野を対象としており、ハイレベルなR&Dのための多用途なプラットフォームを提供します。本装置は1600℃までの連続運転に対応し、特殊な短時間プロセスでは1700℃まで到達可能です。高純度繊維状アルミナ断熱材と水冷式ステンレス製フランジの統合により、重要な真空シールを保護しながら最大のエネルギー効率でシステムを稼働させます。このパワーと保護のバランスにより、再現性の高い高精度な熱データが必要な研究室にとって不可欠なツールとなっています。

信頼性は、この熱処理ユニットの核心です。頑丈な二重層スチールケーシングと高品質な二ケイ化モリブデン（MoSi2）発熱体で構築されており、長期的な産業用途に耐える設計です。Eurotherm温度コントローラーから循環水チラーに至るまで、すべてのコンポーネントがシームレスで統合されたユーザー体験を提供するために選定されています。厳格なエンジニアリング基準と、極限の温度環境下での安全性と性能を優先する設計思想に裏打ちされているため、安心して導入いただけます。

主な特徴

• 自動ボトムローディング機構： モーター駆動のボトムフランジにより、最大50kgまでのサンプルを振動なくスムーズにロードでき、壊れやすい試料の機械的損傷のリスクを最小限に抑え、高スループット試験時の作業性を向上させます。
• 優れた断熱性能： 高純度繊維状アルミナ断熱材を使用することで、最大の省エネと迅速な熱応答時間を実現しつつ、オペレーターの安全のために外装ケーシングの温度を低く保ちます。
• 高精度MoSi2発熱体： 高品質な二ケイ化モリブデン発熱体を搭載し、1700℃まで安定した加熱を実現。高温サイクルに必要な長寿命と耐酸化性を備えています。
• 高度な雰囲気制御： 10^-2 torrに到達可能な真空シール付きステンレス製チャンバーを備え、真空下または制御された不活性ガス雰囲気下でのプロセスをサポート。100〜115 KPaの自動圧力調整機能付きです。
• Eurotherm PID温度制御： 業界標準のEurothermコントローラーが、24セグメントのプログラミングと+/- 0.1℃の精度を提供し、特定の材料要件に合わせた複雑な昇温、冷却、保持ステップを可能にします。
• 統合型水冷システム： チャンバー外装とフランジに内蔵された水冷ジャケットと、16L/minの循環チラーにより、長時間の高温運転中でもOリングを保護し、真空の完全性を維持します。
• リアルタイム・タッチスクリーン・インターフェース： 直感的なタッチパネルにより、温度プロファイルと不活性ガス圧力を一元管理でき、複雑な熱レシピの管理を簡素化し、手動操作によるエラーの可能性を低減します。
• 強化された安全プロトコル： 自動圧力保護、安全圧力解放弁、過熱・熱電対断線保護機能を内蔵し、装置と研究室環境の両方を保護します。
• 強力な真空性能： 高品質なメカニカル真空ポンプを標準装備しており、チャンバー内を迅速に排気し、繊細な半導体ウェハー処理に適したクリーンで汚染のない雰囲気を作り出します。
• PC接続とデータロギング： RS485ポートを統合し、PCでのシームレスな操作が可能。研究者は遠隔で熱データを監視・記録・分析でき、包括的な品質管理とドキュメント作成に役立ちます。

用途

技術仕様

TU-QF10が選ばれる理由

• 産業グレードの信頼性： 二重層スチールケーシングと高品質なMoSi2発熱体で設計されており、性能を損なうことなく、過酷な連続産業・研究用途に耐え抜きます。
• 比類なき精度： EurothermコントローラーとBタイプ熱電対を搭載し、繊細な材料の変化や再現性のある科学的結果に必要な、厳密な温度精度と均一性を提供します。
• 安全と人間工学の統合： 自動ボトムローディング設計は単なる利便性ではなく、オペレーターを熱暴露から守り、重量物や繊細なサンプルの安定した移動を保証する重要な安全機能です。
• すぐに使える完全パッケージ： 多くの競合製品とは異なり、本システムには必要な真空ポンプと循環水チラーがすべて付属しており、個別に調達する必要がなく、即座に運用可能です。
• 柔軟なカスタマイズ： THERMUNITSは、ガス混合システム、特殊なソフトウェア統合、特定の研究室基準を満たすためのNRTL/CSA認証など、本プラットフォームに対する広範なカスタマイズオプションを提供しています。

当社の高温ソリューションの精度と耐久性をぜひご体験ください。技術相談や、お客様の特定の熱処理ニーズに合わせた詳細な見積もりについては、当社のエンジニアリングチームまでお問い合わせください。