先端材料研究向け:自動ボトムローディング機能・1700°C対応・雰囲気制御縦型高温炉

雰囲気炉

先端材料研究向け:自動ボトムローディング機能・1700°C対応・雰囲気制御縦型高温炉

商品番号: TU-DZ21

最高温度: 1700°C チャンバー容量: 18リットル (280mm x 300mm) 真空度: 10⁻² Torr
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製品概要

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この高性能な縦型雰囲気制御システムは、現代の材料科学の厳しい要求に応えるべく設計された、精密熱処理の頂点とも言える製品です。独自の自動ボトムローディング機構を採用しており、高温での焼結、アニール、溶融作業においてシームレスなインターフェースを提供します。本装置は雰囲気の保持能力に優れており、研究者は真空環境や特定のガス環境下において、再現性と熱均一性を確信を持って作業を行うことができます。縦型構造と高度な電動昇降機構を組み合わせることで、サンプルの取り扱いを慎重に行い、ロードおよびアンロード時の振動や熱衝撃を最小限に抑えます。

本システムの最大の価値は、1700°Cという極限温度に達しながらも、水冷による安全な外部環境を維持できる点にあります。半導体ウェハー処理、テクニカルセラミックス開発、粉末冶金など、雰囲気制御が単なる好みを越えて技術的必須条件となる分野に最適です。対象産業には、航空宇宙工学、半導体製造、高純度化学処理などが含まれます。堅牢な構造と統合された冷却技術により、1600°Cでの連続運転が可能であり、あらゆる産業R&Dラボや小規模生産施設にとって信頼できる基盤となります。

長期的な運用の一貫性を実現するため、高純度繊維状アルミナ断熱材と高品質な二ケイ化モリブデン(MoSi2)発熱体を採用しています。この組み合わせにより、迅速な熱応答と優れたエネルギー効率を実現しました。ユーザーは、自動圧力保護やリアルタイム監視を含む統合された安全プロトコルにより、複雑で多段階の熱サイクル中でも安全な作業環境を維持できます。本システムは単なる炉ではなく、材料革新の限界を押し広げるために設計された包括的な熱処理ソリューションです。

主な特徴

  • 電動ボトムローディング機構: 精密設計された電動モーター駆動により、ボトムフランジの自動昇降を容易にします。この設計により、重量のあるサンプル(最大50kg)の積み込みが容易になり、常に熱ゾーン内への完璧なセンタリング配置が保証されます。
  • 高度なMoSi2加熱技術: 高品質な二ケイ化モリブデン発熱体を戦略的に配置し、優れた熱均一性を提供します。これらの発熱体は、酸化環境に耐え、1700°Cまでの温度で構造的完全性を維持できる能力に基づき選定されています。
  • 二層水冷チャンバー: 炉体は水冷ジャケットを組み込んだ二重構造のステンレスケーシングで構築されています。この設計により、真空シール用Oリングを保護し、長時間の高温サイクル中でもオペレーターにとって安全な外部温度を維持します。
  • 精密な雰囲気制御: 高性能メカニカル真空ポンプとデュアル流量計を装備しており、内部環境を精密に制御できます。ユーザーは10⁻² torrの真空レベル、または100〜115 KPaの不活性ガスによる一定の正圧を維持することが可能です。
  • Eurotherm PID温度管理: 制御システムの中核には世界最高水準のEurothermコントローラーを採用し、24セグメントのプログラムが可能です。これにより、+/- 0.1°Cの精度で複雑な昇温・保持・冷却プロファイルを実現し、繊細な材料に対しても高歩留まりの結果を保証します。
  • 高純度アルミナ断熱材: 内部チャンバーは高純度繊維状アルミナ断熱材で裏打ちされています。この低熱質量材料により、エネルギーの最大節約、高速加熱(最大10°C/分)、および焼結プロセス中の高純度サンプルへの汚染防止を実現します。
  • 統合された安全・保護システム: オートチューニング機能付きPID自動制御、過熱保護、熱電対断線検知を内蔵しています。ガスアシストプロセス中の過圧を防ぐ自動圧力開放弁も標準装備されています。
  • リアルタイムデータ取得: 内蔵のRS485通信ポートにより、PCと完全に統合してリモート監視、データロギング、複雑なプログラム管理が可能であり、重要な研究プロセスに対するデジタル監査証跡を提供します。

アプリケーション

アプリケーション 説明 主な利点
半導体ウェハーのアニール シリコンまたは化合物半導体ウェハーを、制御された真空または不活性ガス中で処理し、格子欠陥を修復します。 ウェハー表面全体の電気的特性の向上と構造的一貫性。
テクニカルセラミックスの焼結 アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素コンポーネントを縦型構成で高温高密度化します。 縦方向の熱対称性による変形の低減と優れた粒径制御。
粉末冶金 酸化や不純物を防ぐため、真空中で金属粉末を固体コンポーネントに固化させます。 優れた機械的強度と純粋な化学組成を持つ高密度部品。
航空宇宙材料試験 飛行条件をシミュレートするため、先進合金や複合材料を極端な熱応力環境にさらします。 1700°Cの極限環境下における、飛行に不可欠なコンポーネントの信頼性の高い性能データ。
ガラス溶融・研究 高純度ルツボを使用し、精密な冷却制御下で特殊ガラス組成を小規模に溶融します。 加熱環境からの汚染を最小限に抑え、正確な屈折率管理が可能。
ろう付け・接合 無酸素雰囲気中で高温フィラーメタルを使用し、異種材料を接合します。 高い構造的完全性と美しい仕上げを持つ、酸化のない強力な接合部。

技術仕様

パラメータグループ 仕様詳細 値 / 要件 (モデル: TU-DZ21)
温度定格 最高使用温度 1700°C (1時間未満)
連続使用温度 800°C - 1600°C
温度精度 +/- 0.1 ºC
温度均一性 +/- 0.5°C
推奨昇温速度 ≤ 10°C/min
チャンバー構造 加熱チャンバー寸法 直径280 mm x 高さ300 mm
有効容積 18 リットル
チャンバー材質 水冷ステンレス鋼(繊維状アルミナ断熱材)
ローディング機構 電動モーター駆動ボトムローディング
最大積載量 50 Kg
雰囲気・真空 真空レベル 10⁻² Torr (付属メカニカルポンプ使用時)
圧力制御範囲 100 - 115 KPa (定圧制御)
ガス流量管理 フロントパネルに統合された2つの流量計
安全機能 内蔵自動圧力開放弁
制御システム 温度コントローラー Eurotherm (PID, 1プログラム, 24セグメント)
インターフェース タッチスクリーン操作パネル
熱電対 Bタイプ
コンピュータ接続 RS485ポート (PC制御対応)
電源・ユーティリティ 電圧要件 単相 220 VAC, 50/60Hz
最大消費電力 13 KW (20 Aブレーカーが必要)
水冷 16L/min 循環式水チラー (付属)
適合規格 規格 CE認証 (NRTL/CSA対応可能)

この縦型高温炉を選ぶ理由

  • 比類なき熱精度: Eurothermの制御ロジックとMoSi2発熱体の組み合わせにより、再現性の高いR&D結果に不可欠な最高精度の材料処理を実現します。
  • 産業グレードの信頼性: 過酷な環境での24時間365日の連続運転を想定して設計されており、水冷式ステンレス真空チャンバーは長年の過酷な使用にも耐える構造的完全性と真空性能を維持します。
  • 優れたサンプルアクセス: 電動ボトムローディング設計は単なる利便性ではなく、正確なサンプル配置を可能にし、発熱体への熱衝撃リスクを低減する安全・品質機能です。
  • すぐに使える完全なソリューション: 周辺機器を別途調達する必要がある他のシステムとは異なり、本ユニットには真空ポンプと大容量循環式水チラーが付属しており、到着後すぐに運用を開始できます。
  • 拡張性とカスタマイズ性: 内蔵のPC制御機能と50kgの堅牢な積載能力により、ラボスケールの実験からパイロットスケールの生産までを橋渡しします。

当社のエンジニアリングチームが、お客様の熱プロセス最適化をサポートいたします。詳細な見積もりのご依頼や、お客様の研究要件に合わせて本縦型雰囲気炉をカスタマイズする方法については、今すぐお問い合わせください。

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