ボトムローディング式真空炉 1200℃ 急冷・雰囲気制御・石英チャンバー

管状炉

ボトムローディング式真空炉 1200℃ 急冷・雰囲気制御・石英チャンバー

商品番号: TU-C31

最高温度: 1200°C(不活性ガス)/ 1000°C(真空) 有効加熱容積: 8.6リットル(内径8.5インチ x 深さ8.5インチ) 真空性能: 10-4 Torr(標準)/ 10-5 Torr(オプションのターボポンプ)
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製品概要

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この高温熱処理システムは、人間工学に基づいた設計とエンジニアリング効率の頂点であり、要求の厳しい材料科学や産業用研究開発環境向けに特別に調整されています。モーター駆動のボトムローディング機構を採用することで、繊細なサンプルや重量のあるサンプルをスムーズに取り扱うことができ、炉内部への影響を最小限に抑えながら、最大限の精度でサンプルの出し入れが可能です。本装置の最大の価値は、高真空機能と統合された急冷システムを組み合わせた点にあり、サイクルタイムを大幅に短縮し、標準的なマッフル炉や管状炉では不可能な焼入れプロセスを実現します。

高度な冶金、セラミック焼結、半導体研究をターゲットとしており、制御された環境を作り出すことに優れています。高真空下での操作であれ、不活性ガスを用いた特定の雰囲気下での操作であれ、厳格な雰囲気の完全性を維持します。高純度石英加熱チャンバーと水冷式真空フランジの組み合わせにより、高温操作時のストレスから装置の構造部品を保護しつつ、処理環境を汚染から守ります。

この炉のあらゆるコンポーネントには信頼性が組み込まれています。外部表面を低温に保つ二重鋼製ケーシングから、高耐久性のFe-Cr-Alヒーターに至るまで、プロの研究室環境で継続的かつ再現性の高い性能を発揮するように構築されています。このユニットは、高負荷サイクル運用に必要な堅牢なビルド品質を備えており、研究者や生産エンジニアに、実行のたびに熱プロファイルが絶対的な一貫性を持って実行されるという確信を提供します。

主な特長

  • モーター駆動ボトムローディング式サンプルステージ: 精密なエレベーターシステムにより、加熱ゾーンへのサンプルの振動のない制御された移動が可能です。この人間工学に基づいた設計は、壊れやすい基板や大量のサンプルバッチを取り扱う際に不可欠であり、手作業によるミスを減らし、職場の安全性を向上させます。
  • 不活性ガス急冷システム: 戦略的に配置された4本のガス吹き出し管と統合された冷却チャンバーを備えており、サンプルの温度を急速に下げることができます。この機能は、特定の冷却曲線が必要な冶金プロセスや、サイクル間の待ち時間を短縮して生産性を向上させるために不可欠です。
  • 電動放射シールドドア: 特殊なスライドドアが、サンプルステージが下降した際にチャンバー内の熱を保持します。この熱バリアにより熱損失を防ぎ、内部コンポーネントを熱衝撃から保護し、荷降ろし段階でオペレーターを赤外線から保護します。
  • デュアルチャンネル温度モニタリング: 2台の独立した30セグメントプログラムコントローラーを搭載しています。1台は高精度PIDロジックで炉のヒーターを管理し、もう1台は実際のサンプルステージ温度を監視し、処理中の材料の熱履歴に関するリアルタイムデータを提供します。
  • 高純度石英加熱チャンバー: 8.5インチの内径を持つ石英チャンバーは、真空または雰囲気処理のための超クリーンな環境を提供します。石英の透明性によりセットアップ中の目視確認が可能であり、優れた耐熱衝撃性により急激な温度変化の下でも長期的な耐久性を保証します。
  • 水冷式構造: 高性能ステンレス鋼製真空フランジには、統合された水冷チャンネルが備わっています。これにより、1200℃の操作中にOリングシールの劣化を防ぎ、信頼性の高い真空シールを維持し、ハードウェアの耐用年数を大幅に延ばします。
  • 包括的な真空管理: 本システムには、2段式ロータリーベーンポンプと10⁻⁴ torrまで測定可能なピラニ真空計が付属しています。この完全な統合により、追加の外部コンポーネントを必要とせず、真空ろう付けや脱ガス用途に即座に導入できます。
  • 高度な安全性とコンプライアンス: CE基準を満たすように構築されており、自動PIDオートチューニング、過熱保護、熱電対断線保護が含まれています。統合された空冷機能を備えた二重シェルケーシングにより、最高動作温度時でも外装表面は安全に触れることができます。

用途

用途 説明 主なメリット
真空ろう付け 無酸素環境下、最大1000℃での特殊金属部品の接合。 歪みを最小限に抑えた、高強度で酸化のない接合。
高純度セラミック焼結 汚染を避けるため、高純度石英チャンバー内でのセラミック粉末の固化。 完成品の材料密度と構造的完全性の向上。
不活性ガス急冷 高速不活性ガス流を使用して金属サンプルを急速冷却し、結晶構造を改質。 合金の硬度と機械的特性の精密な制御。
真空焼鈍 表面酸化なしでの精密機械加工部品または薄膜の熱応力緩和。 明るい表面仕上げを維持し、二次研磨工程を排除。
薄膜処理 制御された環境圧力および特定のガス流量下でのコーティング基板の熱処理。 一貫した膜付着性と最適化された電子特性。
材料特性評価 1200℃に達する温度での新しい合金や複合材料の挙動の研究。 正確な研究開発データ収集のための再現性の高い熱プロファイル。

技術仕様

パラメータ 説明 / TU-C31の値
モデル識別子 TU-C31
入力電源 208-240 VAC, 単相, 50/60 Hz
最大消費電力 3600 W (20A専用回路が必要)
最高使用温度 ≤ 1200℃ (不活性ガス) / ≤ 1000℃ (真空/連続)
昇温速度 最大20℃/分
加熱エレメント モリブデン添加Fe-Cr-Al
温度精度 動作範囲全体で± 1.0℃
標準温度均一性 900℃時、有効加熱ゾーン内で± 5.0℃
温度コントローラー RS485通信対応、30セグメントプログラムPIDコントローラー×2
石英チャンバー寸法 9" 外径 x 8.5" 内径 x 13.4" 長 (230 x 218 x 340 mm)
有効加熱ゾーン 8.5" 内径 x 8.5" 深さ (218 x 216 mm)
加熱チャンバー容積 約8.6 リットル
真空システム KF25ポートおよびアングルバルブ付き2段式ロータリーベーンポンプ
真空測定 ピラニゲージ(10⁻⁴ torrまで)およびメカニカルゲージ付属
オプション高真空 Pfeiffer 33 L/s ターボポンプ利用可能(10⁻⁵ torrまで)
雰囲気制御 内蔵5L流量計、1/4" ガス入出力ポート
水冷機能 フランジ保護用16L/分循環式水チラー付属
安全保護 過熱、熱電対断線、自動PID保護
認証 CE認証取得済み (ご要望に応じてNRTL/CSA対応可能)

TU-C31が選ばれる理由

  • 優れた熱管理: 本システムは、温度制御に独自のデュアルモニターアプローチを採用しており、炉内雰囲気と実際のサンプルステージ間のデルタ(温度差)を常に把握・管理できるため、より正確な材料科学の結果が得られます。
  • 精密エンジニアリングとビルド品質: 水冷式SS304フランジから高純度石英加熱チャンバーまで、あらゆる要素が産業研究の厳しさに耐えられるように選定されています。この設計により、熱漏れを最小限に抑え、シールやヒーターなどの消耗部品の寿命を最大化します。
  • 効率重視の設計: 統合されたガス吹き出しシステムとボトムローディング式エレベーターは、単なる便利な機能ではありません。これらは運用効率における重要な進歩を表しています。サンプルの迅速な急冷と容易な積載を可能にすることで、研究者はデータ品質を損なうことなく、シフトあたりの処理サンプル数を増やすことができます。
  • ターンキー真空ソリューション: 多くのモジュール式システムとは異なり、本ユニットは高容量水チラーと2段式真空ポンプを含む包括的なソリューションとして出荷されます。すべてのコンポーネントが完璧に連携するように事前設定されているため、セットアップ時間と技術的な摩擦を軽減します。
  • 多用途な研究プラットフォーム: 1000℃での真空処理と1200℃での不活性ガス処理を切り替える能力により、あらゆる研究室にとって多機能な資産となります。変化する研究目標や進化する産業生産要件に適応するために必要な柔軟性を提供します。

当社のエンジニアリングチームが、お客様の特定の熱処理要件をサポートいたします。詳細な見積もりや、お客様独自のアプリケーションパラメータに合わせてこのシステムをカスタマイズする方法については、今すぐお問い合わせください。

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