高温真空黒鉛化チャンバー炉 2800°C グラファイト発熱体 ボトムローディング式

真空炉

高温真空黒鉛化チャンバー炉 2800°C グラファイト発熱体 ボトムローディング式

商品番号: TU-QF14

最高動作温度: 2800°C 発熱体材質: 高純度円筒形グラファイト 真空度性能: <5e-3 Torr (ベーキング後)
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製品概要

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この高温黒鉛化システムは、先端材料科学のための熱工学の頂点を象徴する製品です。最大2800°Cの動作温度に達するように特別に設計されており、高品質のグラファイト発熱体と多層グラファイトフェルト断熱材を使用して、炭素系材料の黒鉛化に必要な極限の熱環境を実現します。二重壁の水冷式SUS304真空チャンバー内に収められたこのシステムは、高真空レベルの維持や不活性ガス環境下での動作が可能な、安定した制御雰囲気を提供します。電動ボトムローディング式サンプルステージの統合により、繊細なサンプルの取り扱いがスムーズになり、ハイエンドな研究開発に不可欠なツールとなっています。

主にカーボン・カーボン複合材料、合成黒鉛製造、電池電極材料開発に携わる産業をターゲットとしており、分子レベルでの構造変態に必要な精密な熱軌道を提供します。航空宇宙工学におけるヒートシールド試験から、半導体産業における高純度熱処理まで、一貫した再現性の高い結果をもたらします。堅牢な構造と高度な材料選定により、継続的な高温動作の過酷さにも耐え、材料科学の最前線を探求する研究者に信頼性の高いプラットフォームを提供します。

信頼性は、この熱処理ソリューションの核心です。低範囲の精度を確保するC型熱電対と、超高温監視用の高度な2色式パイロメーター(放射温度計)を利用するデュアル入力温度制御戦略を採用することで、卓越した安定性と均一性を維持します。水流、圧力、温度の閾値を管理する包括的なインターロック装置により、安全性が優先されています。このエンジニアリングの細部へのこだわりにより、最も要求の厳しい産業用R&D条件下でもシステムが確実に動作し、調達チームやラボマネージャーに安心感を提供します。

主な特徴

  • 超高温対応能力: このシステムは最大2800°Cの温度に到達・維持できるよう設計されており、高純度円筒形グラファイトヒーターが有効加熱ゾーン全体に効率的かつ均一な放射熱伝達を実現します。
  • 精密なデュアル入力制御: Eurotherm 3000シリーズコントローラーを搭載し、28セグメントのプログラム可能なPIDループを採用しています。C型熱電対(室温〜1300°C)と2色式パイロメーター(1300°C〜2800°C)の間を自動的に切り替えることで、シームレスで正確な温度管理を実現します。
  • 高度な真空アーキテクチャ: 水冷式SUS304チャンバーは高真空の完全性を維持するように設計されており、ベーキング後に5e-3 torr以下の圧力を達成します。これは、繊細な黒鉛化プロセス中の酸化を防ぐために不可欠です。
  • 電動ボトムローディング設計: サンプルの取り扱いを容易にし、内部の発熱体や断熱材への損傷リスクを最小限に抑えるため、電動ボトムローディング式サンプルステージを採用しており、昇降時のスムーズな垂直移動を実現します。
  • 高度な断熱材: 内部は3〜5層の高密度グラファイトフェルトで裏打ちされており、優れた熱遮蔽性を提供し、チャンバー壁への熱損失を最小限に抑え、±8°C未満の温度均一性に貢献します。
  • 包括的な安全インターロックシステム: 統合されたセンサーが水流、水圧、過熱状態を継続的に監視し、ユーティリティ障害が発生した場合には自動的に安全プロトコルを作動させて、オペレーターと機器の両方を保護します。
  • 多様なガス適合性: 全温度範囲での高純度アルゴンや、特定の化学蒸着プロセスのための特定の温度間隔における水素、メタン、アンモニアなどの特殊な混合ガスなど、さまざまな雰囲気条件下で動作するように構成可能です。
  • 高性能圧力監視: Inficon Pirani静電容量式隔膜真空計を装備しており、3.8E-5〜1125 Torrの精密な測定が可能です。これにより、熱処理サイクルの各段階で内部環境を厳密に制御できます。
  • 堅牢な水冷インフラ: ステンレス製チャンバーとグラファイト電極フィードスルーの両方が水冷されており、炉心が2500°Cを超えても外装は安全に触れる温度を保ち、電気接続の安定性を維持します。

用途

用途 説明 主なメリット
炭素繊維の黒鉛化 PAN系またはピッチ系炭素繊維の高温処理による結晶性と導電性の向上。 引張強度と弾性率の優れた向上。
電池アノード合成 高容量リチウムイオン電池アノード用合成黒鉛およびシリコンカーボン複合材料の熱処理。 電気化学的性能とサイクル寿命の向上。
航空宇宙用ヒートシールド 極限の熱保護システム向けのカーボン・カーボン複合材料およびセラミックマトリックス複合材料(CMC)の試験と製造。 模擬再突入条件下での信頼性の高い性能。
合成黒鉛製造 石油コークスやその他の炭素前駆体を、産業用途向けの高純度合成黒鉛に変換。 高い構造純度と一貫した結晶配向。
核材料研究 高温ガス炉で使用される原子炉級黒鉛の熱処理。 卓越した安定性と耐熱衝撃性。
セラミック焼結 炭化ホウ素や炭化ケイ素などの非酸化物セラミックスの超高温焼結。 理論密度への到達と機械的特性の最適化。
化学蒸着 (CVD) 高温チャンバーを熱分解炭素や耐火性コーティングの蒸着リアクターとして利用。 複雑な形状への高均一コーティング。

技術仕様

パラメータ TU-QF14の仕様詳細
標準電源入力 460-480VAC, 3相, 50/60Hz, 50 A
オプション電源入力 208-240または380-415 VAC, 3相, 50/60 Hz
総消費電力 35 KVA
真空チャンバー材質 水冷式SUS304
チャンバー寸法 内径:Ø360 mm x 高さ:480 mm
断熱材 グラファイトフェルト 3〜5層
発熱体タイプ 円筒形グラファイトヒーター
有効加熱エリア Ø100 mm × 260 mm
最大サンプルサイズ < Ø80 mm × 200 mm
最高温度 2800°C
温度コントローラー Eurotherm 3000シリーズ(デュアル入力PIDループ)
低温センサー C型熱電対(室温 - 1300°C)
高温センサー 2色式パイロメーター(1300°C - 2800°C)
温度均一性 < ±8°C (Ø80 × 120 mmゾーン内)
温度安定性 < ±1°C
真空定格 < 5e-3 torr (ベーキング後、メカニカルポンプ使用時)
圧力計範囲 3.8E-5〜1125 Torr (Inficon Pirani静電容量式隔膜)
サンプルステージ 電動ボトムローディングシステム
昇温速度 (室温-300°C) ≤ 5°C/分
昇温速度 (300-1000°C) ≤ 15°C/分
昇温速度 (2600-2800°C) ≤ 1°C/分
2800°Cでの保持時間 < 60分
冷却速度 (2800-2600°C) ≤ 3°C/分
冷却速度 (1600-1300°C) ≤ 15°C/分
冷却水要件 > 15 kW容量; 0.1 - 0.2 MPa圧力; > 40L/分流量
ガス適合性 (アルゴン) 全範囲: 室温 - 2800°C
ガス適合性 (3% H2/Ar) 温度 < 1500°C
コンプライアンス CE認証取得済 (ご要望に応じてNRTL対応可能)

TU-QF14を選ぶ理由

  • 実証済みの熱信頼性: 極限の温度領域向けに設計されており、一貫した2800°Cの性能を提供します。長期的な研究を安定した耐久性のあるプラットフォームでバックアップします。
  • 高度なデュアルセンサー統合: 標準的な炉とは異なり、接触式熱電対と光学式パイロメーター間の自動切り替え機能を備えており、手動介入なしで全加熱曲線にわたって精度を保証します。
  • 人間工学に基づいたローディングの最適化: 電動ボトムローディングステージは、積載時のグラファイト素子や断熱材への機械的ストレスを大幅に軽減し、内部コンポーネントの耐用年数を延ばし、オペレーターの安全性を向上させます。
  • 包括的なプロセス制御: 完全なRS485接続とiTools互換性により、研究者は遠隔で炉を監視・制御でき、重要な実験のための高忠実度なデータロギングを保証します。
  • 高品質な材料選定: 304ステンレス製チャンバーからInficon圧力監視システムに至るまで、すべてのコンポーネントが産業グレードの耐久性と精度を考慮して選定されています。

詳細な技術相談や、お客様の特定の材料処理要件に合わせたカスタム見積もりについては、今すぐTHERMUNITSまでお問い合わせください。

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