先端材料焼結・アニール用高温コールドウォール真空炉 1600℃ 加熱エリア 200x200x300mm

真空炉

先端材料焼結・アニール用高温コールドウォール真空炉 1600℃ 加熱エリア 200x200x300mm

商品番号: TU-ZK03

最高動作温度: 1600°C 有効加熱ゾーン: 200 x 200 x 300 mm (12 L) 到達真空度: < 1e-5 Torr
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製品概要

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本高性能熱処理システムは、現代の材料科学研究および工業生産の厳しい要求を満たすよう設計されています。コールドウォール設計を採用することで、内部チャンバーが極限の熱条件に達する一方で、外部表面は安全な動作温度に保たれます。この設計思想は、研究室の安全性を高めるだけでなく、高真空動作に必要な構造的完全性を提供します。本システムは、雰囲気の純度が極めて重要なプロセスに特に適しており、セラミックライニング炉で一般的な耐火物汚染のリスクを排除した、全金属製の加熱環境を提供します。

本装置の主な用途には、反応性金属の焼結、高温アニール、先端合金の均質化が含まれます。航空宇宙、半導体、エネルギー分野の研究開発ラボにおいて、次世代材料の開発に不可欠な熱履歴の精密制御を実現するための基盤となります。フロントローディング構成により、12リットルの加熱ゾーンへの人間工学に基づいたアクセスが可能で、サンプルの投入やメンテナンスを効率的に行えます。パイロットスケールの生産から基礎的な学術研究まで、複雑な熱サイクルに必要な安定性と再現性を提供します。

信頼性は本装置の構造の中核です。二重層の水冷ステンレス製真空チャンバーにより、最高動作温度においても卓越した真空保持性能を維持します。高品質な高融点金属ヒーターと多層熱シールドの統合により、劣化することなく継続的な高温デューティサイクルに耐えることができます。ダウンタイムが許されず、精度が成功の前提条件となる重要なプロセスにおいて、専門家は本装置を信頼して使用できます。

主な特徴

  • 全金属製熱ゾーン: セラミック断熱材の代わりにタングステンまたはモリブデンの加熱バンドを使用することで、反応性金属の処理に不可欠な、炭素や酸素による汚染のない高純度環境を提供します。
  • 精密コールドウォール構造: 真空チャンバーは304ステンレス鋼製で、高効率の水冷ジャケットを備えており、1600℃で強固な真空シールを維持しながら、外装は触れても安全な温度を保ちます。
  • 高度な熱遮蔽: 高品質な高融点合金製の多層熱反射システムが従来の繊維断熱材に代わり、ガスの脱離を低減し、より迅速な真空回復時間を可能にします。
  • 高度な温度管理: Eurotherm 3000シリーズ・プログラムコントローラーを搭載し、±1℃の精度でPID制御を行い、過熱防止機能により安全な無人運転を実現します。
  • 高真空性能: ISO100-K真空ポートと特殊なシール技術により、室温で1e-5 torr以下の真空レベルに到達可能で、酸素に敏感な冶金プロセスを促進します。
  • 統合冷却ソリューション: 専用の工業用水冷チラーが標準装備されており、チャンバーと電極に一定の流量を供給し、長時間の高温運転中の過熱を防ぎます。
  • ユーザーフレンドリーなインターフェース: 高解像度のタッチスクリーン操作パネルにより、複雑な温度プロファイルや真空データをリアルタイムで簡単に設定、監視、記録できます。
  • 拡張可能なガス処理: デュアルフロート流量計アセンブリと精密ガス入口を備えており、ご要望に応じて水素などの特殊な雰囲気用に改造できる柔軟性を備えています。

用途

用途 説明 主な利点
高エントロピーシリサイド 1600℃でのシリサイド合金の相変態および均質化。 単相正方晶構造の形成を保証。
航空宇宙用超合金 高真空下でのエンジンおよびタービン重要部品のアニール。 酸化脆化および表面酸化を防止。
高融点金属焼結 タングステン、モリブデン、タンタル粉末の緻密な部品への固化。 高純度金属ゾーンが不純物の拡散を防止。
半導体R&D 炭化ケイ素およびその他のワイドバンドギャップ材料の熱処理。 12Lゾーン全体での精密な温度均一性。
セラミックマトリックス複合材料 テクニカルセラミック構造の高温浸透および接合。 制御された脱ガスが可能な安定した真空環境。
医療用インプラント製造 チタンまたはコバルトクロム整形外科部品の焼結。 超クリーンな加熱環境により生体適合性を維持。

技術仕様

パラメータ項目 TU-QF15の仕様詳細
モデル識別子 TU-QF15
電源 480VAC, 60 Hz, 3相 または 380VAC, 50 Hz, 3相
最大電力 60 KW
最高温度 1600°C
加熱ゾーン寸法 200 mm (幅) x 200 mm (高さ) x 300 mm (奥行)
有効容積 12 リットル
真空チャンバー 304ステンレス鋼、水冷ジャケット
真空ポート ISO100-K
到達真空度 室温で < 1e-5 Torr
加熱エレメント タングステンまたはモリブデンバンド
断熱材 多層高融点合金反射シールド
温度コントローラー Eurotherm 3000シリーズ(プログラム可能)
温度精度 ± 1 °C
温度均一性 < ± 8 °C
最大昇温速度 20°C / 分
熱電対タイプ Bタイプ
チラー仕様 付属;流量116 L/分;45Lステンレス製タンク
データインターフェース PCリモート制御用RS-485ポート
規格適合 CE認証取得済み (ご要望によりNRTL/CSA対応可)
ガス管理 フロート流量計2基;バルブ付き1/4インチガス入出力

TU-QF15を選ぶ理由

TU-QF15の選択は、優れた熱工学とプロセス信頼性への投資を意味します。この炉は長期的な動作の一貫性に重点を置いて構築されており、ホットゾーンにはプレミアムな金属コンポーネントのみを使用しているため、材料の汚染を防ぎます。コールドウォール設計は現代の研究室にとって大きな利点であり、セラミックベースのシステムでは不可能な高真空性能と外部安全性を両立しています。

  • 実証された材料の完全性: 全金属製のホットゾーンは、微量の炭素さえも機械的特性を損なう可能性がある高エントロピー合金や反応性金属にとって不可欠です。
  • 精密制御スイート: 業界標準のEurothermコントローラーと直感的なタッチスクリーン・インターフェースを組み合わせることで、複雑な研究開発プロトコルを毎回完璧に実行できます。
  • 完全なシステム統合: 他社製品とは異なり、本装置は必要な大容量水冷チラーや必要なすべての電源ケーブルを含む完全なソリューションとして提供されるため、設置の複雑さが軽減されます。
  • 工業的堅牢性: 304ステンレス鋼のチャンバーから高耐久性のタングステン加熱バンドに至るまで、すべてのコンポーネントは厳しい工業スケジュール下で性能を発揮できるよう選定されています。

当社のエンジニアリングチームが、水素ガス対応やカスタム真空排気ステーションなど、お客様の正確なプロセス要件に合わせてシステムを適合させるためのサポートをいたします。技術的なご相談や正式な見積もりについては、今すぐお問い合わせください。

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