モリブデン加熱式 400mmキューブワークゾーン 1600°Cコールドウォール高真空チャンバー炉

製品概要

本高性能熱処理システムは、無汚染で超クリーンな環境が不可欠な、最も要求の厳しい研究および産業用途向けに設計されています。水冷式コールドウォール設計を採用することで、内部ホットゾーンが最大1600°Cの連続運転温度に達しても、装置は低い外表面温度を維持します。本システムは中小規模サンプルの高真空熱処理に特に最適化されており、酸化や侵入型汚染に敏感な材料のための理想的なプラットフォームを提供します。堅牢な構造により、熱サイクル全体を通して真空完全性が維持され、先端材料科学およびハイエンド製造に欠かせないツールとなっています。

主に冶金、半導体開発、高度セラミックス分野で使用される本装置は、脱ガス、真空ろう付け、焼結といったプロセスに対応する多用途なワークホースです。64リットルの大きな有効加熱容積は、複雑な形状の部品や特殊部品のバッチ処理に十分なスペースを提供します。企業の研究開発ラボで使用される場合でも、特殊な産業生産ラインで使用される場合でも、本システムは高エントロピー珪化物開発やその他の高度な材料合成プロトコルに必要な精度を提供します。その設計は熱出力と真空安定性の重要なバランスに焦点を当てており、あらゆるサイクルがハイテク産業の厳しい要件を満たすことを保証します。

プレミアムな産業グレード部品で製造された本システムは、連続運転条件下で比類のない信頼性と性能を提供します。電解研磨された304ステンレス鋼真空チャンバーとオールメタルホットゾーンの組み合わせにより、断熱繊維からの脱ガスが発生しないため、1e-6 torr以下の到達真空度を維持する上で不可欠です。B2Bバイヤーの皆様は、水冷ジャケットの構造的完全性とオールメタル熱反射シースの精度により、システムと周辺環境が保護されると同時に、複雑な相変態に必要な熱均一性が得られ、安定した再現性が得られることを信頼いただけます。

主な特長

• コールドウォール真空技術: チャンバーは専用水冷ジャケットを備えた電解研磨304ステンレス鋼製で、内部温度が極限に達しても、外表面は安全に触れられる温度に保たれ、寸法安定性が確保されます。
• オールメタル断熱: セラミックファイバー断熱の代わりに6層金属反射シースシステムを採用することで、繊維による汚染リスクを排除し、脱ガスを大幅に低減します。これは超高真空レベルを達成・維持する上で極めて重要です。
• 先進的モリブデン加熱素子: 加熱システムは真空環境専用に設計された高純度モリブデンコイルを備えています。これらの素子は最大1600°Cの温度下で、迅速な熱応答と長期耐久性を提供します。
• 超高真空性能: 標準DN100CFポートを搭載し、大容量ターボ分子ポンプに対応する本システムは、1e-6 torrを下回る到達真空度を達成でき、敏感な材料のための清浄な雰囲気を提供します。
• 高精度Eurotherm制御: 本システムはEurotherm EPC 3000シリーズコントローラーを統合し、28区間のプログラム可能プロファイルとPID自動制御ループを提供し、±1°Cの優れた温度精度を実現しています。
• 柔軟な複数ガス雰囲気対応: 真空用途向けに最適化されていますが、炉はアルゴン(Ar)、窒素(N2)、水素(H2)などの不活性ガス・還元ガスに完全対応しており、1台のシステムで多様な雰囲気処理が可能です。
• 最適化された熱均一性: 内部のモリブデンサンプルステージと、慎重に配置された加熱コイルにより±8°Cの温度均一性を達成し、大容量のバッチ負荷や複雑な部品であっても、均一な熱分布が得られます。
• 堅牢なロードロック扉: 水冷式前面扉は、高完全性シーリングと特殊な冷却機能を備えOリングの劣化を防止し、数百サイクルにわたって信頼性の高い真空シールを確保します。

用途

技術仕様

当社を選ぶ理由

• 優れた真空完全性: 当社のオールメタルホットゾーンと電解研磨されたチャンバー表面は脱ガスを最小限に抑えるよう設計されており、従来のセラミックライニングシステムよりも速く、より確実に超高真空レベルに到達することが可能です。
• 精密エンジニアリング: Eurotherm EPC 3000シリーズコントローラーとB型熱電対を使用することで、敏感な材料科学研究に必要な正確な熱制御を提供し、全バッチで再現性のある結果を保証します。
• 産業用耐久性: 水冷ステンレス鋼と高純度モリブデンの組み合わせにより、定格最高温度1600°Cで運転しても、炉の構造的完全性が長年にわたって維持されます。
• スケーラブルでカスタマイズ可能: 真空ポンプの選択(ターボ分子ポンプ vs ドライスクロールポンプ)から大容量水チラーの追加まで、特定の研究室または産業の処理量要件に合わせて本システムを調整することができます。
• 包括的な規格適合: 全ての装置がCE認証を取得しており、NRTLまたはCSA規格へのアップグレードも可能です。調達チームの皆様は、装置が国際的な安全と品質のベンチマークを満たしていることを確信いただけます。

当社の技術チームが、お客様の特定の用途要件に合わせた最適な熱ソリューションの構成を支援する準備ができています。詳細な技術コンサルティングまたは正式な見積もりをご希望の場合は、今日ご連絡ください。