1200°C 雰囲気制御式自動ボトムローディング炉(6インチ石英管付き)

管状炉

1200°C 雰囲気制御式自動ボトムローディング炉(6インチ石英管付き)

商品番号: TU-C32

最高温度: 1200°C (≤ 30分) 処理チューブ寸法: 150 mm 外径 x 600 mm 長さ 石英 加熱ゾーン: デュアルゾーン (合計 350 mm)
品質保証 Fast Delivery Global Support
お問合せ

配送: お問い合わせ 配送詳細を確認してください オンタイムディスパッチ保証.

製品概要

Product image 1

Product image 2

Product image 3

Product image 4

Product image 2

この高温熱処理システムは、実験装置における重要な進歩を象徴する製品であり、雰囲気と熱プロファイルの絶対的な制御を必要とする研究者や産業エンジニアのために特別に設計されています。精密駆動のボトムローディング機構を採用することで、オペレーターへの熱衝撃を最小限に抑え、加熱チャンバー内での繊細なサンプルの安定した配置を実現します。この構成は、サンプルの向きや雰囲気の純度が実験の成功に不可欠な高精度材料合成において特に有利です。

汎用性と高スループットな研究開発のために設計されたこのシステムは、さまざまなガス環境下での要求の厳しい熱処理プロセスに対して堅牢なプラットフォームを提供します。真空下でも制御された陽圧下でも、統合された冷却およびシーリングシステムにより、優れた安定性を維持します。これにより、信頼性と再現性のある性能が成功の基本要件となる先端材料科学、半導体開発、航空宇宙冶金学にとって理想的な選択肢となります。

長期的な運用の一貫性に重点を置いたこのシステムは、高純度石英管から特殊な加熱エレメントに至るまで、最高品質のコンポーネントを使用して構築されています。垂直方向の配置と自動ステージにより、24時間年中無休の自律稼働を必要とするラボワークフローにもシームレスに統合できます。専門家は、この装置が正確な熱勾配とクリーンな環境を提供し、すべてのバッチが産業研究開発の厳しい基準を満たすことを確信できます。

主な特徴

  • 自動ボトムローディングシステム: 精密設計された垂直リフト機構により、振動のないスムーズなサンプルのロードおよびアンロードが可能です。この自動ステージは、ユーザーを高温ゾーンから遠ざけて安全性を高めるだけでなく、複数のバッチにわたって再現性の高い結果を得るための安定したサンプル配置を保証します。

  • 高純度6インチ石英管: このシステムは、外径150mmの溶融石英管を処理チャンバーとして使用しています。石英は優れた耐熱衝撃性と化学的不活性を備えており、高温での繊細な反応中の汚染を防ぎます。また、透明であるため、熱サイクル中にサンプルの視覚的なモニタリングが可能です。

  • デュアルゾーン温度制御: 独立して制御可能な2つの加熱ゾーン(各175mm)を備えており、熱勾配の管理において優れた柔軟性を提供します。この設定は、特定の温度プロファイルや、±2°Cの精度で最大120mmの均一な高温ゾーンを必要とするアプリケーションに不可欠です。

  • 高度なタッチスクリーンインターフェース: 中央のPLCタッチスクリーンパネルにより、加熱/冷却速度、保持時間、ガス圧力パラメーターなどの複雑な熱サイクルをプログラムできます。ワンボタン実行により操作が簡素化され、手動プログラミングエラーのリスクが軽減されます。

  • 水冷式シーリングフランジ: 高品位のSS304ステンレス鋼製フランジには、統合された水冷ジャケットが装備されています。この機能により、シリコンOリングの熱劣化を防ぎ、炉が最高温度の1200°Cで動作している場合でも、高完全性の真空シールを維持します。

  • 統合型マスフローコントローラー(MFC): この炉には、標準装備として高精度マスフローコントローラー(1-1000 sccm)が含まれています。これにより、プロセスガスの正確な投与が可能となり、処理プロセス全体を通じて石英管内の雰囲気が一貫して制御されます。

  • 自動化とPC統合: このシステムには、デフォルトでDB9 PCポートと専用ソフトウェアが装備されており、遠隔操作とデータロギングが可能です。高度な産業用アプリケーションでは、ロボットアームと統合して、完全に自律的な24時間稼働の処理セルを構築できます。

  • 堅牢な加熱エレメント: 高品質のFeCrAlMo線を使用しており、加熱エレメントは長寿命と迅速な熱応答のために設計されています。これらのエレメントは1200°Cまで信頼性の高い熱生成を提供し、酸化に強いため、要求の厳しいラボ環境でも長い耐用年数を保証します。

  • 包括的な安全性とモニタリング: 上部フランジには、デジタル真空計、機械式圧力計、および二次熱電対が備わっています。この多層モニタリングシステムは、内部環境に関するリアルタイムのフィードバックを提供し、パラメーターが設定値から逸脱した場合に即座に調整を行うことができます。

アプリケーション

アプリケーション 説明 主な利点
先端セラミックス焼結 セラミック粉末を高密度な構造部品へ高温固化させる。 精密な雰囲気制御により酸化を防ぎ、材料の純度を維持。
化学気相成長(CVD) 気相反応を介して様々な基板上に薄膜やナノ材料を成長させる。 均一な加熱ゾーンにより、大規模バッチ全体で一貫した膜厚と品質を確保。
半導体アニール シリコンウェハーや化合物半導体の熱処理を行い、電気的特性を改質する。 急速冷却能力と高純度環境により、不要なドーパントの移動を防止。
冶金および合金化 窒素またはアルゴンの保護雰囲気下で特殊金属合金を溶解・熱処理する。 ボトムローディングにより熱衝撃を最小限に抑え、重いるつぼの取り扱いが容易。
電池材料研究 次世代エネルギー貯蔵用の正極または負極材料の焼成および合成。 24時間年中無休の自律稼働能力により、研究スループットを大幅に向上。
歯科および生体材料 歯科用セラミックスや生体適合性インプラントの特殊熱処理。 透明な石英管により、材料の物理的状態を視覚的に検査可能。
真空ろう付け 高真空または不活性環境下で、充填金属を使用して金属部品を接合する。 高完全性のシーリングフランジにより、オプションのポンプを使用して10⁻⁵ Torrまでの真空レベルを維持。

技術仕様

カテゴリー パラメーター TU-C32の仕様
モデル識別 製品アイテム番号 TU-C32
電源 電圧 220VAC +/- 10%, 50/60Hz, 単相
定格電力 最大6.0 kW
熱性能 最高使用温度 1200°C(30分以内)
長期使用温度 1100°C(連続)
昇温速度 10°C / 分(推奨)
温度精度 ±1°C(標準); ±0.1°Cへのアップグレードオプションあり
加熱構成 加熱エレメント 高性能FeCrAlMo線
加熱ゾーン デュアルゾーン(175 mm + 175 mm)
総加熱長 350 mm
恒温ゾーン 120 mm(±2°C以内)
制御システム インターフェース タッチスクリーンPLCプログラマブルパネル
コントローラー 50セグメント温度コントローラー×2
熱電対 Kタイプセンサー×2
PC接続 DB9ポート(遠隔操作ソフトウェア付属)
チャンバー構造 管材質 高純度溶融石英
管寸法 外径150 mm x 内径144 mm x 長さ600 mm
サンプルステージ 直径130 mm石英プレート(カスタマイズ可能)
シーリング&ガス フランジ材質 SS304ステンレス鋼(水冷式)
ガス制御 1-1000 sccm マスフローコントローラー(MFC)付属
圧力モニタリング デジタル真空計&機械式圧力計
ガスポート G1/4ダブルフェルール入口; KF 25真空ポート
冷却&真空 水チラー 16L/分 循環式チラー付属
真空レベル(オプション) 10⁻² Torr(メカニカル) / 10⁻⁵ Torr(分子ポンプ)
安全認証 認証オプション NRTL認証真空ポンプ利用可能

TU-C32を選ぶ理由

この炉システムへの投資は、複雑な熱処理のための汎用性が高く高性能なソリューションを施設にもたらします。デュアルゾーン加熱と自動ボトムローディングの組み合わせにより、標準的な管状炉では達成が困難なレベルの精度と再現性が実現します。堅牢なエンジニアリングにより、装置は継続的な産業研究の過酷な条件にも耐えることができ、ダウンタイムの削減と高品質な成果を通じて確実な投資収益率を提供します。

さらに、このシステムは拡張性を考慮して設計されています。外部コンピューターやロボットシステムとインターフェース接続できるため、単一の研究ツールから、高スループットの自律生産ラインの一部へと、ラボのニーズに合わせて成長させることができます。専用の水チラーとマスフローコントローラーが標準で含まれていることは、コンポーネントの長寿命化とプロセスの安定性を優先した、すぐに使える完全なソリューションを提供するという当社のコミットメントを反映しています。

卓越性への当社の取り組みはハードウェアにとどまりません。包括的なサポートを提供し、サンプルステージやガス供給ユニットなどのコンポーネントを、お客様の特定のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズする能力を備えています。繊細な半導体であれ、先端の冶金合金であれ、このシステムは最先端のイノベーションに必要な熱性能と雰囲気の純度を提供します。お客様の特定のプロセス要件についてのご相談や、施設向けのカスタマイズされた見積もり依頼については、今すぐお問い合わせください。

この製品に関するよくある質問をもっと見る

引用を要求

弊社の専門チームが 1 営業日以内にご返信いたします。 お気軽にお問い合わせ下さい!

関連製品

6インチ石英管デュアルゾーンシステム搭載 1200℃雰囲気制御自動底面ローディング炉

6インチ石英管デュアルゾーンシステム搭載 1200℃雰囲気制御自動底面ローディング炉

この1200℃雰囲気制御自動底面ローディング炉で精密な材料合成を実現します。6インチ石英管とデュアルゾーン加熱を備えた本システムは、優れた熱安定性を伴う自律的な24時間365日の研究開発および高純度工業用熱処理プロセスをサポートします。

先端材料研究向け:自動ボトムローディング機能・1700°C対応・雰囲気制御縦型高温炉

先端材料研究向け:自動ボトムローディング機能・1700°C対応・雰囲気制御縦型高温炉

自動電動ボトムローディングおよび真空機能を備えた、1700°C対応の高度な縦型雰囲気炉です。精密な焼結やアニール処理のために設計されており、水冷チャンバーやEurotherm製PID制御を搭載した、要求の厳しい産業研究開発向けの高性能システムです。

1000℃ 制御雰囲気実験室材料焼結用 コンパクトハイブリッドマッフル・チューブ炉

1000℃ 制御雰囲気実験室材料焼結用 コンパクトハイブリッドマッフル・チューブ炉

この多機能コンパクトハイブリッド炉は、マッフル炉とチューブ炉の機能を組み合わせ、精密な1000℃熱処理を実現します。省エネ設計と小型フットプリントにより、グローブボックスへの組み込み、真空焼結、高性能な産業および実験室用制御雰囲気材料研究アプリケーションに最適です。

1700℃ 高温縦型雰囲気制御炉 自動ボトムローディング式 13リットル真空熱処理システム

1700℃ 高温縦型雰囲気制御炉 自動ボトムローディング式 13リットル真空熱処理システム

自動ボトムローディング、高精度Eurothermコントローラー、高真空機能を備えた1700℃縦型雰囲気炉で、高度な材料研究や要求の厳しい産業用R&Dにおいて、常に優れた熱処理結果を実現します。

1200°C コンパクト自動ボトムローディング炉(精密コントローラーおよび急速冷却機能付き)

1200°C コンパクト自動ボトムローディング炉(精密コントローラーおよび急速冷却機能付き)

この1200°Cコンパクトボトムローディング炉は、自動化された材料研究のための精密な温度制御と急速冷却を提供します。グローブボックスへの統合を想定して設計されており、高度な産業用R&D向けに信頼性の高い高温処理とシームレスなデータロギングを実現します。

小型高温ボトムローディング炉 1700℃ 急速加熱冷却システム 小型サンプル熱サイクル装置

小型高温ボトムローディング炉 1700℃ 急速加熱冷却システム 小型サンプル熱サイクル装置

この小型1700℃ボトムローディング炉は、高速サンプル処理に対応した電動リフト、高精度PID制御、先進的なMoSi2発熱体を搭載しており、産業研究所用途における高温材料研究や厳格な熱サイクル衝撃試験に最適なソリューションです。

8.6インチ径石英チャンバー搭載 急速ガス冷却式 1200℃ ボトムローディング真空炉

8.6インチ径石英チャンバー搭載 急速ガス冷却式 1200℃ ボトムローディング真空炉

精密材料研究向けに設計された先進的な1200℃ボトムローディング真空炉で、急速ガス焼入れとデュアルゾーンPID制御を特長としています。本産業用システムは要求の厳しい研究開発環境や高純度処理用途において、優れた熱均一性と真空の完全性を確保します。

ボトムロード式不活性ガス雰囲気ボックス炉 最高温度1400℃ 125L大容量 実験用熱処理システム

ボトムロード式不活性ガス雰囲気ボックス炉 最高温度1400℃ 125L大容量 実験用熱処理システム

本製品1400℃対応ボトムロード式雰囲気ボックス炉で、優れた熱精度を実現します。125Lのチャンバー、油圧式サンプル昇降装置、一体型真空制御を備えた本システムは、先端研究および大規模工業生産において、安定した不活性環境を提供します。

高速熱処理 RTP 雰囲気制御型ボトムローディング炉 1100℃ 高スループット 昇温速度 50℃/秒

高速熱処理 RTP 雰囲気制御型ボトムローディング炉 1100℃ 高スループット 昇温速度 50℃/秒

超高速50℃/秒の昇温と雰囲気制御を特徴とする、この1100℃対応ボトムローディング式RTP炉で研究開発の効率を最大化しましょう。この高スループットシステムはロボットアームと連携可能で、自動単原子触媒や精密な6インチウェハアニーリング用途に最適です。

秒速50℃の昇温速度を実現する1100℃ 雰囲気制御ボトムローディング式ラピッドサーマルプロセシング炉(ウェハーアニール用)

秒速50℃の昇温速度を実現する1100℃ 雰囲気制御ボトムローディング式ラピッドサーマルプロセシング炉(ウェハーアニール用)

秒速50℃の昇温速度と自動雰囲気制御を備えた1100℃ボトムローディング式ラピッドサーマルプロセシング炉で、最高の効率を実現します。先進的な研究環境における高スループットな単原子触媒合成や6インチ半導体ウェハーの精密アニールに最適です。

高速熱処理(RTP)炉 1100℃ 雰囲気制御ボトムローディング式 ウェハアニール・触媒研究用システム

高速熱処理(RTP)炉 1100℃ 雰囲気制御ボトムローディング式 ウェハアニール・触媒研究用システム

この1100℃ボトムローディング式RTP炉は、ウェハアニールや触媒研究向けに最大50℃/秒の超高速加熱を実現します。自動雰囲気制御とロボット統合機能を備え、要求の厳しい産業用R&Dや材料科学分野において、一貫した信頼性と比類のない性能で高スループットな精密処理を保証します。

1700℃ 高温アルミナ管状炉(18インチ加熱ゾーンおよび真空シールフランジ付き)

1700℃ 高温アルミナ管状炉(18インチ加熱ゾーンおよび真空シールフランジ付き)

このプロ仕様の1700℃管状炉は、18インチの加熱ゾーンと高純度アルミナチューブを備え、先端材料研究に最適です。真空および制御雰囲気下での使用を想定して設計されており、過酷な産業用研究プロセスにおいて卓越した熱安定性と信頼性を発揮します。

1400℃ ボトムロード式不活性ガス雰囲気箱型炉 125L容量 精密油圧リフト搭載

1400℃ ボトムロード式不活性ガス雰囲気箱型炉 125L容量 精密油圧リフト搭載

この1400℃ボトムロード式不活性ガス雰囲気箱型炉で、卓越した熱処理結果を実現します。125Lのチャンバー、油圧リフト、水冷ジャケットにより、先進的な産業研究開発や要求の厳しい高純度生産環境での精密な材料加工を提供します。

先端材料の焼結および産業用熱処理向け、65Lチャンバー搭載 1650℃ 高温雰囲気制御ボックス炉

先端材料の焼結および産業用熱処理向け、65Lチャンバー搭載 1650℃ 高温雰囲気制御ボックス炉

65Lチャンバー、水冷式真空シール、MoSi2発熱体を備えたこの1650℃雰囲気制御ボックス炉で、精密な熱処理を実現。先端材料の焼結向けに設計され、不活性ガスまたは酸素環境下で、産業R&Dおよび研究用途に対応します。

ボトムローディング式不活性ガス雰囲気ボックス炉 1700℃ 1300℃ 216L 大容量産業用熱処理システム

ボトムローディング式不活性ガス雰囲気ボックス炉 1700℃ 1300℃ 216L 大容量産業用熱処理システム

この大容量ボトムローディング式不活性ガス雰囲気ボックス炉は、最大1700℃までの精密な熱処理を実現します。216Lのチャンバーと油圧リフトを備え、先端材料科学や産業用研究開発プロジェクトにおいて均一な熱処理を保証します。

ボトムローディング式真空炉 1200℃ 急冷・雰囲気制御・石英チャンバー

ボトムローディング式真空炉 1200℃ 急冷・雰囲気制御・石英チャンバー

ガス急冷機能、デュアルPID制御、高純度石英チャンバーを備えた先進的な1200℃ボトムローディング式真空炉です。精密な研究開発や産業用材料加工向けに設計されており、優れた温度均一性と迅速なサイクルタイムを実現します。

5面加熱・64Lチャンバー搭載 1200℃水素雰囲気ボックス炉

5面加熱・64Lチャンバー搭載 1200℃水素雰囲気ボックス炉

精密設計された1200℃水素雰囲気ボックス炉。64リットルのチャンバーと5面加熱により、優れた温度均一性を実現します。高度な安全システムとプログラム可能なPID制御により、高純度材料の合成や産業R&Dプロセスに最適です。

雰囲気制御マッフル炉 最高温度1700℃ 80L大容量 真空・不活性ガス対応ボックス炉

雰囲気制御マッフル炉 最高温度1700℃ 80L大容量 真空・不活性ガス対応ボックス炉

先端材料研究向けの高性能1700℃雰囲気制御マッフル炉(容量80L)。MoSi2発熱体と精密PID制御を搭載し、産業用R&Dやパイロット生産プロセスにおける不活性ガス、真空、酸素環境下での熱処理に対応します。

自律型材料研究向け急速冷却機能付き高温コンパクト自動ボトムローディング炉

自律型材料研究向け急速冷却機能付き高温コンパクト自動ボトムローディング炉

1500℃対応のコンパクトな自動ボトムローディング炉で、研究開発の生産性を向上させます。急速冷却機能と自動化対応により、グローブボックスへの統合やロボットワークフローへの組み込みが可能。最先端の産業研究所や材料科学研究センターに最適な、高精度熱処理ソリューションです。

真空・雰囲気材料研究用 プログラマブルコントローラー&2インチトップポート付き コンパクト1000℃マッフル炉

真空・雰囲気材料研究用 プログラマブルコントローラー&2インチトップポート付き コンパクト1000℃マッフル炉

精密な熱処理とコンパクトな設計を両立。プログラマブルコントローラーと真空・雰囲気制御用トップポートを備えた1000℃マッフル炉です。材料研究、焼結、グローブボックス内での使用など、プロフェッショナルな科学研究開発ラボに最適です。

関連記事