二重層ボックス焼結と制御雰囲気アルミナチューブを備えた1700℃コンパクトハイブリッド炉

マッフル炉

二重層ボックス焼結と制御雰囲気アルミナチューブを備えた1700℃コンパクトハイブリッド炉

商品番号: TU-HC09

最高温度: 1700°C ハイブリッド処理モード: デュアルレイヤーボックス&ツインアルミナチューブ 温度安定性: ± 1°C
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製品概要

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この高温ハイブリッド熱処理システムは、ボックス炉とチューブ炉の利点を1台のコンパクトな筐体に統合し、実験室の汎用性における画期的な進歩を実現します。2本の内部アルミナチューブと二重層チャンバー設計を組み合わせることで、雰囲気制御処理と空気焼結を同時または個別に行うことが可能です。本システムは最高1700°Cに到達でき、精度と柔軟性の両方が求められる厳しい熱サイクルに対して、堅牢なソリューションを提供します。

主に材料科学研究室、産業R&Dセンター、半導体試験施設向けに設計された本装置は、省スペース性と処理効率が重要な少量バッチ処理で優れた性能を発揮します。二重層ボックス構成により1.7リットルのチャンバー容量を最大限に活用し、補助チューブシステムは高純度ガス環境や真空処理を可能にします。この二重機能により、同一の材料バッチに対して異なる環境条件が求められる現代の冶金、先進セラミックス開発、特殊熱処理プロトコルにおいて不可欠なシステムとなっています。

信頼性は本装置の設計の中核です。高品質なMoSi2発熱体と、反射コーティングを施した高級1800グレードのアルミナファイバー断熱材を採用し、急速昇温と優れたエネルギー効率を実現しています。構造設計には能動空冷ファンシステムを組み込み、長時間の高温サイクル中でも外装を安全な温度に維持します。こうした熱管理と部品寿命への配慮により、過酷な産業環境でも信頼できる資産として機能し、サイクルごとに安定した結果を提供します。

主な特長

  • ハイブリッド多モード処理: 本システムは、制御雰囲気処理用の13mm内径アルミナチューブ2本と、空気雰囲気焼結用の内部チャンバー2層を備えた独自の内部構造を採用しており、これまでにない実験の柔軟性を実現します。
  • 高性能MoSi2発熱体: 1750グレードの二ケイ化モリブデン(MoSi2)発熱体をU字型構成で搭載し、急速な昇温と1700°Cまでの高温安定性を実現します。
  • 高度な断熱設計: チャンバーは、特殊な反射コーティングを施した1800グレード高純度アルミナファイバーで構成されており、熱損失を大幅に低減し、温度均一性を向上させ、発熱体の寿命を延ばします。
  • 高精度PID温度制御: 一体型の30セグメントプログラマブルコントローラーは、高度な比例・積分・微分制御ロジックと自動調整機能を活用し、加熱プロファイル全体で±1°Cの精度を維持します。
  • 統合雰囲気管理: 標準で各チューブにステンレス製ニードルバルブとダイヤル式真空計を装備し、標準的な機械式ポンプで50 mtorrまでの精密なガス流量制御と真空レベル管理を可能にします。
  • 強制空冷による筐体冷却: 高耐久鋼製外装と高効率冷却ファンを組み合わせ、外装表面温度を60°C未満に保ち、操作時の安全性と装置寿命を確保します。
  • 高度なプロセス監視: 極端な高温域でも高精度に検知できるB型(白金-ロジウム)熱電対を搭載し、過昇温および熱電対断線アラームも内蔵しています。
  • 省スペース設計: コンパクトな設計により、別個のボックス炉とチューブ炉を設置するための大きな設置面積を必要とせず、1.7リットルの作業容量と二経路処理を提供します。

用途

用途 説明 主な利点
先進セラミックス焼結 空気または制御ガス中でのジルコニア、アルミナ、および工業用セラミックスの高温処理。 精密な熱制御により高密度化と均一な粒成長を実現します。
粉末冶金 不活性ガスまたは真空環境下での金属粉末の還元および焼結。 酸化を防ぎ、少量バッチでも高純度の金属構造を確保します。
半導体R&D 一体型アルミナチューブ内でのウェハーや特殊基板のアニーリング。 制御された高温環境で迅速な試作を可能にします。
材料特性評価 新しい材料組成の熱安定性および相変態の試験。 高い均一性(80mmで±2°C)により、再現性のある正確なデータ収集を保証します。
触媒試験 チューブ部で触媒材料を高温下の反応性ガス流に曝露。 一体型ニードルバルブにより、試験中のガス混合を精密に管理できます。
歯科ラボ処理 歯科補綴物やブリッジフレームワークの高温焼結。 二重層ボックス設計により、小型歯科部品の処理能力が2倍になります。
電子部品のエージング 高温空気中での電子センサーや耐熱部品のストレス試験。 1600°Cでの長期連続運転により、信頼性試験に必要な安定性を確保します。

技術仕様

カテゴリ 仕様詳細(TU-HC09)
炉構造 反射コーティング付き1800グレードアルミナファイバー;空冷ファン付き二重壁鋼構造。
内蔵チューブ アルミナチューブ2本(内径13mm、外径18mm、長さ600mm)。
チャンバー構成 二重層ボックス設計;各層の高さ約50mm。
チャンバー寸法 120mm(長さ)×120mm(幅)×120mm(高さ)/(4.7" × 4.7" × 4.7")。
チャンバー容量 1.7リットル。
電源 AC 208~240V、50/60Hz、単相。
最大出力 2.5 KW(通常、10°C/分の昇温速度で< 1 KW)。
動作温度 連続:1600°C(2912°F);最大:1700°C(3092°F、< 1時間)。
昇温速度 0~20°C/分(≤ 1400°Cでは≤ 10°C/分推奨、1400~1600°Cでは5°C/分)。
温度安定性 ±1°C。
温度均一性 1700°Cで120mm(5")範囲内±5°C;1700°Cで80mm(3")範囲内±2°C。
発熱体 1750グレードMoSi2(4本、U字型)。
熱電対 B型(Pt-Rh対Pt-Rh)アルミナ保護管付き。
コントローラーモデル FA-YD518P-AG PIDコントローラー(30セグメント、自動調整、MET認証)。
真空性能 約50 mtorr(機械式ポンプ);10^-5 torr(分子ポンプ)。
シール部品 二重シリコン高温Oリング付きシーリングフランジ1組。
ガス管理 各チューブにSS製ニードルバルブ2個とダイヤル式真空計1個。
外形寸法 1000mm(幅)×450mm(奥行)×680mm(高さ)。
適合認証 CE認証済み;NRTL/CSA認証はご要望に応じて対応可能。

TU-HC09を選ぶ理由

  • 比類のない汎用性: ボックス炉とチューブ炉の機能を組み合わせることで、複数の装置を必要とせず、実験室の作業フローを効率化し、貴重な作業スペースを節約します。
  • 優れた熱設計: 1800グレードの断熱材と1750グレードMoSi2発熱体の採用により、本炉は高温研究の厳しさに耐えながら、優れたエネルギー効率と温度均一性を維持できます。
  • 精密な制御: MET認証PIDコントローラーと高精度B型熱電対により、繊細な材料合成や再現性の高い産業プロセスに必要な正確な熱管理を実現します。
  • 安全優先設計: 能動冷却システムと過昇温アラームを備え、混雑した研究室環境でも安全に運転でき、オペレーターと試料の両方を保護します。
  • 堅牢な品質: ステンレス製ニードルバルブから二重壁空冷シャーシに至るまで、すべての部品は過酷な条件下での長期耐久性と運転の一貫性を考慮して選定されています。

当社のエンジニアリングチームは、お客様の特定の研究ニーズに合わせたカスタム構成や技術統合を支援する準備ができています。詳細なお見積り、またはカスタム熱処理要件についてのご相談は、今すぐお問い合わせください。

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