デュアルチューブ 100mm/80mm CVDスライド式電気炉（4チャンネルガス混合・真空システム搭載）

製品概要

この高性能熱処理システムは、高度な化学気相成長（CVD）アプリケーション向けに設計されており、特に金属箔上への薄膜やグラフェンの成長を促進するように最適化されています。独自のデュアルチューブ構造を採用することで、反応環境を精密に制御することが可能です。本システムの最大の価値は、次世代のエネルギー貯蔵および電子機器研究において不可欠な、金属基板上のフレキシブル電極の製造に対応できる点にあります。加熱、ガス供給、真空制御を単一のプラットフォームに統合しており、材料科学者のワークフローを効率化します。

本装置は、二次元材料やナノテクノロジーに注力する産業用R&D環境や学術研究室に最適です。主な用途には、グラフェン膜の大量生産や、厳密な雰囲気制御を必要とする複雑なナノ構造の合成が含まれます。同心円状の石英チューブ間の狭い10mmの反応空間に反応ガスを精密に供給できるため、前駆体の効率と膜の均一性を最大化します。スライド機構により装置の有用性がさらに高まり、特定の相変態や高スループット実験に不可欠な迅速な熱サイクルを実現します。

工業グレードのコンポーネントで構築されたこの電気炉は、過酷な条件下でも比類のない信頼性を提供します。高純度アルミナ断熱材と堅牢なステンレス製真空フランジは、高温下での連続運転に耐えるよう設計されています。デジタルマスフローコントローラーから高耐久真空ステーションに至るまで、システムのあらゆる側面が精密工学へのこだわりを反映しています。研究者は、ルーチンの熱処理から制御された雰囲気下での複雑な多段階CVD合成プロセスまで、一貫した再現性の高い結果を得ることができます。

主な特徴

• 同心デュアルチューブ構造： 外径100mmの外部チューブと吊り下げ式の内径80mmの内部チューブを採用。10mmの反応ギャップを作り出し、金属箔基板を巻き付けることで、CVDの表面積とガス相互作用を最適化します。
• ダイナミック・スライドレールシステム： 電気炉底部に高耐久スライドレールを統合し、加熱チャンバーをサンプルゾーンから迅速に移動させることが可能です。これにより、固定式電気炉では不可能な急速冷却や高速昇温を実現します。
• 精密4チャンネルガス供給： 4つのデジタルマスフローコントローラー（MFC）を備えた統合型ガス混合ステーション（100〜500 SCCMの範囲）により、前駆体とキャリアガスの複雑な混合を±1%のフルスケール精度で実現します。
• 高度なPID温度制御： 30セグメントのプログラム可能なPIDコントローラーを使用し、昇温速度、保持時間、冷却曲線を緻密に制御して、±1°Cの温度安定性を維持します。
• 統合型真空・圧力モニタリング： 2段式ロータリーベーンポンプと10^-4〜1000 Torrを測定可能なデジタル真空計を含む包括的な真空ステーションが付属しており、クリーンで制御された反応環境を保証します。
• 堅牢な水冷フランジ： ステンレス鋼（SUS304）製フランジには水冷ジャケットが統合されており、高真空シールを保護し、長時間の高温運転中も構造的完全性を維持します。
• 最適化された断熱材： 加熱チャンバーは高純度Al2O3繊維断熱材で構成されており、熱損失を最小限に抑え、定温ゾーン全体で優れた温度均一性を提供します。
• 拡張可能な加熱構成： シングルゾーンおよびデュアルゾーン構成の両方に対応しており、温度勾配を独立して制御できるため、前駆体の輸送や多段階反応の管理に不可欠です。
• 安全性と自動化： 過熱アラームと自動保護機能を内蔵しており、常時監視なしで安全にシステムを運用できるため、研究室の効率を高め、運用リスクを低減します。
• 工業用Swagelok接続： すべてのガス入出力口に1/4インチのSwagelokチューブコネクタを採用し、漏れのない性能と標準的な工業用ガスインフラとの互換性を確保しています。

アプリケーション

技術仕様

TU-RT12を選ぶ理由

• グラフェン研究のための優れた設計： デュアルチューブ設計は、ロール・ツー・ロール方式の箔巻きに最適化されており、研究室規模で利用可能な大面積グラフェンおよび2D材料合成において最も効率的な構成を提供します。
• 比類のない熱的俊敏性： スライド式電気炉設計により、超高速冷却速度の達成や、温度ゾーン間でのサンプルの即時移動が可能となり、結晶粒成長や相純度の制御に不可欠です。
• ターンキー型のガス・真空統合： 大規模な組み立てが必要なモジュール式セットアップとは異なり、本システムは完全に統合された4チャンネルMFCステーションと適合する真空ポンプステーションを備えており、導入初日から高純度な雰囲気制御が可能です。
• 長期的な産業利用を想定： 高耐久モバイルカートから高品質ステンレス製フランジ、Al2O3断熱材に至るまで、すべてのコンポーネントが、高負荷サイクルなR&D環境での耐久性と一貫した性能を基準に選定されています。
• 精度とカスタマイズ性： シングルまたはデュアルゾーン制御の選択肢に加え、Eurothermコントローラーやカスタムガス構成の統合も可能であり、お客様の特定のCVDプロセスの要件に合わせて調整できます。

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