製品概要
この高性能システムは、精度、柔軟性、および急速冷却能力を必要とする研究者や産業エンジニア向けに設計された特殊な熱処理ユニットです。垂直方向の配置と分割シェル設計を採用することで、複雑な実験セットアップへのシームレスな統合を可能にし、材料合成や特性評価に理想的な環境を提供します。本システムは、制御された雰囲気または真空環境を提供するよう設計されており、先端材料科学や高温研究に注力する研究所の基盤となります。
主に焼入れ試験、温度測定、および特殊な化学気相成長（CVD）プロセスに利用される本ユニットは、熱勾配や急激な温度変化が重要なアプリケーションにおいて優れた性能を発揮します。その垂直構成は、重力を利用した焼入れやサンプルの吊り下げに特に有利であり、冶金、半導体開発、航空宇宙研究などの業界で活用されています。装置は頑丈な移動式カートに取り付けられており、動的な研究開発施設内のさまざまなワークステーション構成に簡単に統合できます。
一貫性と耐久性は、この熱システムの核心です。二重層鋼構造と高度な繊維状アルミナ断熱材により、連続的な高温運転中でも外殻温度を極めて低く維持します。このエンジニアリングへのこだわりにより、長期的な信頼性と運用安全性が確保され、無人運転や精密な30セグメントの昇温・保持が必要な繊細な実験においても確信を持って使用できます。
主な特徴
- 精密な分割シェルエンジニアリング： 本炉は、プロセスチューブの挿入、取り出し、点検を容易に行える独自の分割開放設計を採用しており、繊細なサンプルや複雑な真空接続を乱すことがありません。この設計により、実行間のダウンタイムが大幅に短縮され、内部加熱エレメントのメンテナンスも容易になります。
- 高度な断熱技術： 特殊な表面コーティングを施した高純度繊維状アルミナ断熱材を使用することで、エネルギー効率を最大化しつつ、急速な加熱・冷却能力を維持します。二重層鋼ケースは運転中も65°C以下に保たれ、ユーザーや周辺機器を過度の熱放射から保護します。
- インテリジェントPID温度制御： 本システムには、30のプログラム可能なセグメントを備えたMET認証コントローラーが装備されています。これにより、±1°Cの精度で加熱速度、冷却速度、保持時間を細かく制御できます。内蔵のオートチューニング機能と過熱保護機能により、設定パラメータを維持するために装置が動的に反応します。
- 堅牢な真空シールと雰囲気制御： 真空計とバルブを統合した2つの高品質ステンレス製フランジを備え、分子ポンプを使用することで最大10E-5 Torrの真空度に到達可能です。1/4インチのバーブコネクタと、熱ブロックやルツボを吊り下げるための内部フックリングが含まれており、高純度ガスフロー実験に不可欠です。
- 高性能加熱エレメント： 1100°Cまでの安定した性能を確保するため、モリブデンをドープした特殊なFe-Cr-Al合金加熱エレメントを使用しています。この材料選択により、優れた耐久性と耐酸化性が得られ、過酷な熱サイクル下でも長い耐用年数を保証します。
- 最適化された垂直焼入れ設計： 垂直方向の配置は、急速焼入れ試験に特化しています。従来のワイヤーカットリリースやオプションの電磁リリース機構を使用して、加熱ゾーンから焼入れ媒体へサンプルを落下させ、高温相や微細構造を保持することが可能です。
- モバイルかつスケーラブルなインフラ： アセンブリ全体が頑丈な移動式カートに設置されており、施設内での移動が容易です。さらに、RS485通信をサポートしており、ラップトップインターフェースを介したリモートデータロギングやソフトウェアベースの制御が可能で、包括的なレシピ管理を実現します。
- 強化された安全・保護システム： 統合された安全機能には、熱電対断線保護、ケース冷却用内部ファン、および高温・低圧条件下で石英管の構造的完全性を保護する真空制限定義が含まれています。
アプリケーション
| アプリケーション | 説明 | 主なメリット |
|---|---|---|
| 窒素ドープ炭素合成 | 1100°Cでの処理により、炭素触媒の構造秩序化と黒鉛化を促進。 | 触媒の限界電流とメタノール耐性を向上。 |
| 冶金焼入れ | 加熱ゾーンから冷却媒体へ重力落下させ、相変態を研究。 | 冷却速度の精密制御により準安定相を捕捉。 |
| HPCVDプロセス | 制御された石英環境内で特殊なサンプルサセプタを使用するハイブリッド物理化学気相成長。 | 精密な温度・ガス流量制御による高純度薄膜成長。 |
| 材料特性評価 | 特定の雰囲気または真空圧下での繊細なサンプルの高精度温度測定。 | ±1°Cの恒温ゾーン維持による信頼性の高いデータ取得。 |
| 半導体アニール | 汚染を防ぐための高純度石英環境でのウェハおよび基板の熱処理。 | 溶融石英管の化学的不活性により金属不純物の拡散を防止。 |
| 電池材料研究開発 | 窒素やアルゴンなどの保護雰囲気中での溶融塩や導電性ポリマーの熱処理。 | サイクル中の透明な石英管を通じたサンプル状態の目視監視。 |
| センサー校正 | 高精度校正のための垂直チューブ内での熱電対プローブや熱センサーの均一加熱。 | 垂直荷重により加熱中の長いセンサーへの機械的ストレスを最小化。 |
技術仕様
| 特徴 | アイテム番号 TU-C06 の詳細 |
|---|---|
| 加熱ゾーン構成 | シングルゾーン（長さ440mm） |
| 恒温ゾーン | 150mm (±1°C) |
| 最高温度 | 1100°C (1時間未満) |
| 連続運転温度 | 1000°C |
| 最大昇温速度 | ≤ 20°C/分 |
| 標準プロセスチューブ | 高純度石英; 外径80mm x 内径72mm x 長さ1000mm |
| チューブアップグレードオプション | ムライト管（最大1250°C、外径60mm〜100mm）利用可能 |
| 加熱エレメント | 1300°Cグレード Fe-Cr-Al合金（モリブデン添加） |
| 温度コントローラー | MET認証、30プログラムセグメント; RS485; PIDオートチューニング |
| 温度精度 | ± 1ºC |
| 真空フランジ | ステンレス製（真空計、ニードルバルブ、1/4インチバーブコネクタ付き） |
| 真空性能 | 10E-2 Torr（メカニカルポンプ）; 10E-5 Torr（分子ポンプ） |
| リークレート | < 5 mTorr / 分 |
| 定格電力 | 6 KW |
| 供給電圧 | AC 208-240V 単相, 50/60 Hz |
| 炉本体寸法 | 550mm(L) x 380mm(W) x 520mm(H) (カートを除く) |
| 移動式カート込み寸法 | 600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H) |
| 正味重量 | 約80kg (移動式カートを除く) |
| コンプライアンス | CE認証; 要望に応じてNRTL (UL61010) または CSA対応可能 |
1100°C 分割型縦型チューブ炉（80mm石英管およびステンレス製真空フランジ付き）を選ぶ理由
- 比類なき熱精度： 高度な30セグメントコントローラーを備えた本炉は、材料の遷移や保持時間を産業グレードの精度で実行し、再現性の高い研究開発結果を実現します。
- 多用途なエンジニアリング設計： 石英管とムライト管を切り替え可能な機能と、垂直分割構成の組み合わせにより、標準的なボックス炉や水平チューブ炉にはない汎用性を提供します。
- 堅牢な真空完全性： 当社のステンレス製真空フランジと高品質な石英シールは、低いリークレートに最適化されており、実験を大気汚染から守ります。
- 強化された実験室の安全性： 二重層シェル冷却と包括的な熱シールドにより、オペレーターに熱リスクを与えることなく、人の出入りの多い実験環境でも安全に操作できるよう設計されています。
- 長期的な投資保護： 1年間の限定保証と生涯テクニカルサポートを提供し、耐用年数を通じて装置が生産的な資産であり続けることを保証します。
当社のエンジニアリングチームが、お客様の特定のアプリケーションに合わせたカスタムフランジ設計や統合ソフトウェアソリューションのサポートを行います。技術的なご相談や正式なお見積りについては、今すぐお問い合わせください。
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