材料科学研究および制御雰囲気下での少量サンプル処理用 20mm石英管・真空フランジ付き1000℃ミニ管状炉

管状炉

材料科学研究および制御雰囲気下での少量サンプル処理用 20mm石英管・真空フランジ付き1000℃ミニ管状炉

商品番号: TU-14

最高温度: 1000°C 処理管サイズ: 外径20mm x 長さ192mm プログラム可能セグメント: 30セグメントPID制御
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製品概要

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この高性能ミニ熱処理システムは、現代の材料科学および産業用R&Dラボの厳しい要求を満たすように設計されています。高温アプリケーション向けのコンパクトかつ強力なソリューションとして、最大1000℃までの少量サンプル加熱に対して安定した制御環境を提供します。その最大の価値は極めて高い汎用性にあり、研究者は真空または特定のガス雰囲気下で高精度な実験を行うことができます。設置面積の小ささと産業グレードの加熱能力を両立させた本装置は、スペースが限られているものの性能を妥協できない先駆的な研究に不可欠なツールです。

本システムは、化学気相成長(CVD)、気相-液相-固相(VLS)ナノワイヤ成長、および高度なガス分析など、多様な用途に特に適しています。炉とコントローラーが分離可能なモジュール設計となっているため、ラボのセットアップにおいて比類のない柔軟性を提供します。これにより、複雑な実験装置への統合や、グローブボックス内などの特殊な環境への設置が可能です。半導体研究、電池材料試験、金属分析のいずれにおいても、再現性の高い科学的結果を得るために必要な一貫した熱プロファイルを提供します。

信頼性は、この熱処理システムの基盤です。モリブデンをドープした耐久性の高いFe-Cr-Al合金発熱体や高純度溶融石英管など、高品質なコンポーネントで構築されており、過酷な環境下での長寿命かつ連続的な運用を想定しています。ステンレス製真空フランジと高度な安全シールドの採用により、最高温度1000℃でも安全に動作します。調達担当者やラボマネージャーにとって、この炉は長期間にわたって一貫した性能を発揮する、高精度熱機器への確実な投資となります。

主な特徴

  • 精密PID温度制御: 内蔵の温度コントローラーは、高度な比例・積分・微分(PID)ロジックとオートチューニング機能を活用し、±1℃の精度を維持します。これにより、最も繊細な材料の変化も正確な熱条件下で発生させることが可能です。
  • 高度な30セグメントプログラミング: 複雑な熱サイクルに対応するため、加熱、保持、冷却レートを最大30セグメントまでプログラムでき、研究者は処理タイムラインを完全に制御できます。
  • モジュール式分離アーキテクチャ: 炉ユニットと制御コンソールが物理的に分離可能な設計となっており、加熱チャンバーをグローブボックス内に設置し、電子機器を外部に置くことで、過酷な環境からコントローラーを保護し、メンテナンスを容易にします。
  • 設置方向の柔軟性: 柔軟なフレーム設計により、水平または垂直のいずれの姿勢でも運用可能で、重力供給デポジションや標準的な水平アニールなど、さまざまな実験セットアップに適応します。
  • 高気密真空シール: KF25クイッククランプと1/4インチガス入口を備えたネジ締め式エンドを含むステンレス製フランジを装備しており、高純度処理や酸素に敏感な材料の合成に不可欠な20 mTorrの真空圧を達成可能です。
  • 強化された安全保護: 800℃以上での動作中に高温面に誤って接触するのを防ぐため、炉体の上に専用の保護シールドが取り付けられており、忙しいラボ環境でのオペレーターの安全を優先しています。
  • 加熱ゾーンの効率最適化: 55mmの加熱ゾーンは、20mmの均熱領域(±5℃)を提供するように設計されており、少量サンプル全体に均一な熱分布をもたらし、実験の完全性に影響を与える熱勾配のリスクを低減します。
  • 耐久性に優れた材料: モリブデンをドープしたFe-Cr-Al合金発熱体の採用により、酸化や熱サイクル疲労に対する優れた耐性を確保し、高純度石英管は気相反応中に化学的不活性を維持します。
  • グローブボックス対応: 加熱ユニットのコンパクトな寸法は、標準的なグローブボックスのエアロックを通過できるように計算されており、不活性または水分を含まない雰囲気下での特殊な処理を可能にします。
  • 内蔵診断保護: コントローラーには過熱状態や熱電対断線に対する保護機能が統合されており、センサー障害が発生した場合に自動的に電源を遮断し、機器や処理管の損傷を防ぎます。

アプリケーション

アプリケーション 説明 主な利点
ナノワイヤ合成 (VLS) 制御された1000℃環境下で、気相-液相-固相法を用いて結晶構造を成長させる。 高温安定性により、ワイヤ径と結晶品質の均一性を確保。
少量サンプルのアニール 真空下で特殊金属合金やセラミックペレットの内部応力を緩和する。 精密な冷却セグメントにより、熱衝撃や材料の割れを防止。
化学気相成長 (CVD) 反応ガスを石英管内に導入し、基板上に薄膜を堆積させる。 優れた真空気密性により、外気からの汚染を防止。
ガス分析 ガス入口/出口を統合し、サンプルを加熱してガス放出や触媒反応を観察する。 ガス流量と温度の精密制御により、正確な速度論的データを取得可能。
グローブボックス研究 不活性雰囲気グローブボックス内で、酸素に敏感な電池材料を処理する。 モジュール設計により、コントローラーを外に置いたまま加熱ユニットをエアロックに通せる。
半導体ドーピング 制御された高温下で、小さなウェハや基板にドーパントを導入する。 均一な加熱ゾーンにより、サンプル表面全体で一貫したドーパント浸透を実現。
触媒試験 特定の熱および雰囲気条件下で、新しい触媒材料の効率を評価する。 30セグメントプログラミングにより、複数の温度ステップを迅速にスクリーニング可能。

技術仕様

一般的な性能および電気的仕様

パラメータ 値 (モデル: TU-14)
最高温度 1000 °C (1時間未満の持続時間)
連続使用温度 900 °C
最大昇温速度 10 °C / 分
温度精度 ± 1 °C
出力 最大 500W
電圧互換性 110V または 220V AC 選択可能 (50/60 Hz)
加熱ゾーン長 2.16インチ (55 mm)
均熱ゾーン 0.8インチ (20 mm) @ ± 5 °C

材料およびハードウェアコンポーネント

コンポーネント TU-14 仕様
処理管 溶融石英管: 外径20mm x 内径17mm x 長さ192mm
発熱体 モリブデンをドープしたFe-Cr-Al合金
熱電対 Kタイプ高感度センサー
真空フランジ A KF25クイッククランプフランジ (バルブなし)
真空フランジ B 1/4インチガス入口付きネジ締め式フランジ
熱放射シールド セラミックチューブブロック2個を標準付属
火傷防止 800℃以上での安全のための外部取り付け保護シールド

運用およびコンプライアンスデータ

特徴 詳細
真空性能 メカニカルポンプで20 mTorr達成可能
制御システム 30セグメントプログラム可能PID(オートチューニング機能付)
設置方向 水平または垂直方向
分離可能性 炉ユニットは制御ユニットから取り外し可能
出荷重量 50 lbs (約22.7 kg)
コンプライアンス CE認証取得済 (NRTL/UL61010/CSAはオプション)
保証 1年間の限定保証、生涯サポート付き

この管状炉を選ぶ理由

  • 小規模R&D向けの比類なき汎用性: 本ユニットの分離可能な設計は、グローブボックスやカスタム真空システムに加熱システムを統合する必要があるラボにとって最高の選択肢であり、標準的な一体型炉では不可能な柔軟性を提供します。
  • 精密工学による熱精度: 当社のPID制御システムは卓越した安定性を提供するよう校正されており、研究結果が熱の変動ではなく、実験変数によって決定されることを保証します。
  • コンパクトな形状に凝縮された産業グレードの耐久性: モリブデンをドープした発熱体と高純度石英を使用することで、当社の大型産業用モデルと同等の堅牢な長寿命を実現しており、長期的な研究プログラムにとって持続可能な投資となります。
  • グローバルな安全・コンプライアンス基準: すべてのユニットはCE認証を取得しており、ULおよびCSA認証のオプションも用意されているため、世界中の学術機関や企業が求める厳しい安全要件を満たしています。
  • 専門家によるサポートとカスタマイズ: ハードウェアだけでなく、包括的な生涯技術サポートを提供しており、特定のプロセス要件を満たすための管やフランジのカスタマイズも可能です。

見積もりのご依頼や、この特殊なミニ管状炉を貴社の次なる研究プロジェクトにどのように統合できるかについては、当社の技術営業チームまでお気軽にお問い合わせください。

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