製品概要

この高性能熱処理システムは、高真空焼結と高圧雰囲気処理のギャップを埋めるために特別に設計された、材料科学工学の頂点とも言える製品です。3.5バールの堅牢な圧力能力と10^-5 torrに達する超高真空を統合することで、高度な機能性材料の開発および生産のための汎用性の高い環境を提供します。その核心的な価値は、繊細な化学プロセスや高純度材料の合成に不可欠な、極めて高い清浄度と温度均一性を維持できる点にあります。
本システムは主に、イットリウム・バリウム・銅酸化物(YBCO)などの高圧酸素環境を必要とする超電導材料や、精密な雰囲気制御を必要とするその他の特殊セラミックスの熱処理用に設計されています。310Sステンレス鋼製のチャンバーはクラス100の清浄度を確保しており、航空宇宙、半導体、原子力分野におけるクリーンルーム統合型の研究開発に適しています。真空焼結であれ高圧酸化であれ、最も過酷な実験条件下で一貫性のある再現性の高い結果をもたらします。
産業用研究開発チームは、その卓越した構造的完全性と洗練された監視システムを信頼して利用できます。366リットルの全チャンバー容積内に125リットルの有効立方作業スペースを備えており、小規模なプロトタイプからパイロット生産まで対応可能です。マルチゾーン加熱と高度なPID制御の組み合わせにより、材料科学者は熱勾配を完全に制御でき、統合された安全機構が高圧操作時の安心感を提供します。本システムは、現代の材料物理学の限界を押し広げる研究室にとっての基盤ツールです。
主な特徴
- デュアル機能の雰囲気制御: 本システムは、超高真空(ターボポンプ使用で最大10^-5 torr)と高圧環境(最大3.5バール)の間をシームレスに移行できるため、雰囲気を解放することなく単一のプロセス内で複雑な多段階熱サイクルを実行可能です。
- 超クリーンな310Sステンレス鋼チャンバー: 内部チャンバー全体が高品位の310Sステンレス鋼で構成されており、アウトガスを最小限に抑え、クラス100の清浄度基準を維持するように精密に設計されています。これは、繊細な超電導材料や電子材料の汚染を防ぐために不可欠です。
- 4ゾーン精密加熱: 本装置は、900mmの長さにわたって配置された3つの円形ゾーンと1つの底部ゾーンからなる、洗練された4ゾーン加熱構成を採用しています。この構成により±10°Cの非常に均一な温度フィールドが形成され、500mmの立方体有効スペース内のどこにサンプルを配置しても同一の熱条件を体験できます。
- 高圧安全システム: 産業安全のために設計されており、統合された圧力センサーと電磁式圧力リリーフバルブを備えています。これらのコンポーネントは、自動圧力維持および過圧リリーフ機能を提供し、高圧酸素や不活性ガス処理中の作業員と設備の両方を保護します。
- 高度なEurotherm EPC3000コントローラー: 業界をリードするEurotherm EPC3000 PIDコントローラーを採用し、24セグメントのプログラム制御が可能です。これにより、使いやすいタッチスクリーンインターフェースを通じて、±5°Cの温度精度で複雑な加熱、保持、冷却ランプを作成できます。
- 包括的な熱監視: プロセスの完全な透明性を確保するため、7つのK型熱電対が含まれています。3つのセンサーがチャンバー内部環境を監視してサンプルレベルの精度を確保し、4つの外部センサーが加熱素子を追跡して過熱を防ぎ、モリブデン・鉄・クロム・アルミニウム抵抗線の寿命を延ばします。
- 水冷式ドア構造: 前面装填式ドアには水冷ジャケットが統合されており、800°Cでの長時間高温稼働時に真空シールと炉の構造的完全性を保護し、長期的な動作信頼性を確保します。
- 統合型マスフロー制御: 吸気システムには高精度な1チャンネルマスフローメーター(5L/min)が装備されており、プロセスガスの正確な調整が可能です。この精度は、超電導材料合成における化学量論的バランスを維持するために不可欠です。
- データ収集とPC接続: 厳密な研究開発ドキュメント作成のため、制御システムは圧力、真空度、温度データのリアルタイム監視、記録、ダウンロードを可能にします。シームレスなPC通信とプロセス曲線生成のためにDB9ポートが提供されています。
- 堅牢な加熱素子: 高品質なモリブデン・鉄・クロム・アルミニウム抵抗線を使用することで、最大5°C/minの高速加熱と、流動雰囲気および真空状態の両方での優れた耐久性を実現し、メンテナンスのダウンタイムと運用コストを削減します。
用途
| 用途 | 説明 | 主な利点 |
|---|---|---|
| 超電導体処理 | YBCOおよびその他の高温超電導材料のための高圧酸素熱処理。 | 精密なpO2制御により、最適な結晶構造と臨界電流密度を確保。 |
| 先端セラミックス | 航空宇宙および産業用摩耗部品向けの酸化物・非酸化物セラミックスの真空焼結。 | 高真空が不純物を除去し、圧力段階が残留気孔を排除。 |
| 航空宇宙研究開発 | 制御されたクリーン環境における高強度合金の応力除去および熱処理。 | クラス100の清浄度が酸化を防ぎ、冶金結合の純度を維持。 |
| 原子力材料研究 | 様々な圧力・温度サイクル下での原子炉コンポーネントの試験。 | 堅牢な310S鋼構造が過酷なサイクルと腐食性雰囲気に耐える。 |
| 半導体アニール | 特定のガス環境下での炭化ケイ素または窒化ガリウムウェハーの高温アニール。 | マルチゾーン加熱がウェハー処理に必要な極めて高い温度均一性を提供。 |
| バイオインプラント焼結 | 真空下でのチタンまたはジルコニア製の歯科・整形外科インプラントの熱処理。 | 金属のみの内部コンポーネントが、生体適合性表面の汚染をゼロに保つ。 |
| 薄膜結晶化 | 電子特性を向上させるための薄膜の成膜後熱処理。 | リアルタイムのデータロギングにより、プロセスパラメータと膜性能の完全な相関が可能。 |
| 気相成長支援 | 特殊な化学気相プロセス用の高圧反応チャンバーとしての利用。 | 統合されたマスフローメーターと圧力リリーフが安全で制御された反応容器を提供。 |
技術仕様
| パラメータ | 仕様詳細 (モデル: TU-ZK01) |
|---|---|
| 電源 | AC三相 480V, 50/60Hz; 60KW |
| チャンバー材質 | 310Sステンレス鋼 (全金属製内部コンポーネント) |
| チャンバー全体寸法 | 直径720mm * 深さ900mm (全容積366L) |
| 有効作業スペース | 500mm x 500mm x 500mm (立方体スペース) |
| 最高動作温度 | 800°C (流動雰囲気または真空中で連続) |
| 加熱ゾーン | 4ゾーン (円形3 + 底部1); 合計加熱長900mm |
| 温度均一性 | ±10°C (流動雰囲気中) |
| 昇温速度 | ≤ 5°C/min |
| 加熱素子 | モリブデン・鉄・クロム・アルミニウム抵抗線 |
| 最大真空度 | 10^-3 torr (メカニカルポンプ); 10^-5 torr (オプションのターボポンプ使用時) |
| 最大使用圧力 | 0.35 MPa (3.5 bar) @ 500°C; 0.25 MPa (2.5 bar) @ 750°C |
| 圧力制御範囲 | 0.01 MPa ~ 0.2 MPa (定圧制御) |
| 温度コントローラー | Eurotherm EPC3000; 24セグメントPIDプログラム可能 |
| 温度精度 | ±5°C |
| 熱電対構成 | K型7個 (内部チャンバー3個、外部/素子監視用4個) |
| ガス管理 | 1チャンネルマスフローメーター (5L/min); 電磁ニードルバルブ |
| 排気/ポート | φ12.7mm 入口/出口; 予備のKF40高圧排気ポート |
| 安全機能 | 過圧リリーフバルブ; 自動圧力維持; 圧力センサー |
| 冷却要件 | 水冷式ドア; オプションのチラー (3.5KW, 75L/min流量) |
| コンプライアンス | CE認証 (ご要望に応じてNRTL/CSA対応可能) |
TU-ZK01を選ぶ理由
- ハイブリッド工学の卓越性: 本システムは、個別の真空炉と圧力炉を必要とせず、研究室のスペースを最大化しながら、先端材料合成のための優れたプロセス柔軟性を提供する統合ソリューションです。
- 超電導体における実証済みの信頼性: 高圧酸素環境に最適化されており、雰囲気の純度が譲れないYBCOやその他の高温超電導体に焦点を当てた研究機関にとって最適な選択肢です。
- 堅牢な安全性と監視: 7つの専用熱電対と自動圧力リリーフシステムを備えており、高温での高圧サイクル中であっても、オペレーターの安全と装置の長寿命化を優先しています。
- プレミアムな制御統合: Eurotherm EPC3000コントローラーの搭載により、業界標準の精度で研究を裏打ちし、異なるバッチ間での複雑な熱プロファイルの再現を容易にします。
- 完全なカスタマイズとサポート: 包括的な技術サポートを提供し、お客様の産業用または研究開発用途の特定の要件を満たすために、ガスフローシステム、真空ポンプ構成、冷却ユニットのカスタマイズが可能です。
TU-ZK01高圧真空炉の詳細な相談や正式な見積もりについては、今すぐ弊社の技術営業チームまでお問い合わせいただき、お客様の特定のプロセス要件をご相談ください。
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