製品概要
この高温熱処理システムは、水素雰囲気下での材料の安全かつ高精度な処理のために特別に設計されています。最高1700℃の極端な温度に到達できるよう設計されており、高純度アルミナプロセスチューブと高度なガス管理技術を一体化しています。堅牢な加熱性能と専用の水素安全インフラを組み合わせることで、現代材料科学に不可欠な還元雰囲気実験のための安全な環境を提供します。この装置のコアバリューは、可燃性ガスの使用に伴う固有のリスクを軽減しながら、安定した高温条件を維持できる点にあります。
主に先進的な研究開発ラボや産業用材料合成施設で使用され、焼結、焼きなまし、化学気相成長などの用途で優れた性能を発揮します。高純度で無酸素の環境を必要とする refractory 金属、セラミック、半導体部品を扱う研究者にとって、好ましいソリューションです。本システムは多用途性を備えており、不活性ガスや酸素でも同等に機能するため、複雑な熱サイクルに対応する多目的な装置として活用できます。コンパクトな横型構成は実験室のドラフトチャンバーに最適化されており、既存の安全プロトコルにシームレスに統合できます。
購入者は本装置の信頼性と耐久性に完全な信頼を寄せることができます。スーパー1800グレードのMoSi2発熱体から二層構造のスチールケーシングまで、すべてのコンポーネントは過酷な産業用負荷サイクルに耐えられるよう選定されています。空冷システムを搭載しているため、長時間の高温運転中でも炉の外面は安全に触れられる温度に維持されます。このような設計品質へのこだわりにより、安定した再現性のある結果が得られ、高感度な産業研究や品質が重要な生産プロセスに必要な運用安定性を提供します。
主な特長
- 一体型水素安全システム： UL認証のガス検知器と内蔵電磁弁を搭載しており、爆発下限界(LEL)の20%で漏洩を検知すると自動的に水素供給を遮断し、作業者の安全性を最大限に確保します。
- 極端な温度対応能力： スーパー1800グレードのMoSi2発熱体を使用し、最高使用温度1700℃を実現し、高い熱エネルギーを必要とする先進材料の処理を可能にします。
- 高精度PID温度制御： 高度なコントローラーが30のプログラム可能セグメントを提供し、昇温速度、降温速度、保持時間を高精度に管理し、全範囲で±1℃の温度精度を維持します。
- 高純度アルミナ処理チューブ： 外径60mmのチューブは純度95%以上のAl2O3セラミック製で、優れた耐薬品性と熱安定性を備え、コンタミネーションのない材料処理を実現します。
- 堅牢な真空・圧力管理： ステンレス製真空フランジとニードルバルブを標準装備し、最高10E-5 torrの高真空から最高5 PSIの陽圧まで対応し、多様な雰囲気制御を可能にします。
- 高い熱効率： 高純度繊維状アルミナ断熱材と空冷付き二層スチールケーシングにより、環境への放熱を最小限に抑え、外面温度を60℃以下に維持します。
- 包括的な監視ツール： 一体型の機械式圧力計と16-160 ml/minのフローティング流量計により、ガス入口圧力と出口流量をリアルタイムで監視でき、高精度なプロセス制御が可能です。
- 安全を最優先した設計： 熱放射遮蔽用のセラミックチューブブロックと水素点火用の専用ガスライターを標準装備し、安全な実験室運用への強いこだわりを示しています。
- デジタル通信対応： RS485通信ポートを標準搭載しており、オプションのソフトウェアからデータロギングとリモートモニタリングが可能で、ワークフローのトレーサビリティを向上させます。
用途
| 用途 | 説明 | 主なメリット |
|---|---|---|
| 水素焼結 | 酸化防止のため、還元雰囲気中で高融点金属および工業用セラミックを焼結します。 | 表面純度に優れた高密度部品を実現します。 |
| 材料合成 | 正確な熱プロファイルとガス制御が必要な先進材料粉末および薄膜の処理を行います。 | 安定した結晶成長と相純度を確保します。 |
| 触媒還元 | 制御された水素ガス流量により、触媒基材の高温還元を行います。 | 正確な流量管理により、触媒の活性と性能を最適化します。 |
| 半導体研究開発 | 不活性雰囲気または水素リッチな環境で半導体ウェーハや材料の熱処理を行います。 | 超低リーク率により、敏感な部品の汚染を防止します。 |
| 合金の焼きなまし | 真空または陽圧下で特殊合金の応力除去および熱処理を行います。 | 制御された冷却速度により熱衝撃を防止し、構造的完全性を維持します。 |
| CVD実験 | 高性能コーティングを作成するため、ガス状前駆体を使用した化学気相成長を行います。 | 一体型安全弁により、可燃性ガス使用時の施設を保護します。 |
| 腐食試験 | 産業ガス中で材料の耐久性試験のため、高温腐食環境をシミュレートします。 | 高純度アルミナチューブにより、試験中の相互汚染を防止します。 |
技術仕様
| パラメータ | TU-QF30の仕様詳細 |
|---|---|
| 型番 | TU-QF30 |
| 最高温度 | 1700℃（1時間未満の継続使用） |
| 連続使用温度 | 1600℃ |
| 発熱体 | スーパー1800グレード MoSi2 (30 x 270mm) |
| 加熱ゾーン長さ | 125 mm (5") |
| 恒温ゾーン | 50 mm (2") within ± 2°C |
| 昇温速度 | ≤ 10°C/min（チューブの長寿命化のため5°C/minを推奨） |
| プロセスチューブ素材 | 高純度Al2O3セラミック（純度＞95%） |
| プロセスチューブ寸法 | 内径51 mm × 外径60 mm × 長さ800 mm |
| 温度精度 | ± 1°C |
| 温度コントローラー | SCRによるPID自動制御；30プログラム可能セグメント；RS485ポート |
| 水素安全システム | Honeywell UL認証ガス検知器；自動電磁遮断弁 |
| 警報設定値 | 水素爆発下限界の20%（20% LEL） |
| 真空性能 | 最高10E-5 torr（適切な真空ポンプシステム使用時） |
| 最大圧力 | 5 PSI（陽圧） |
| 電力要件 | 最大3 KW（20Aブレーカーが必要） |
| 電圧 | 単相 AC 208-240V, 50/60 Hz |
| ケーシング構造 | 空冷付き二層スチール（表面温度＜60°C） |
| ガス流量制御 | フローティング流量計（16 - 160 ml/min） ニードルバルブ付き |
| 認証 | CE認証取得；ご要望に応じてNRTLまたはCSA認証対応可能 |
当社を選ぶ理由
- 妥協のない安全基準： 本システムは水素処理の高リスク性を踏まえて特別に設計されており、標準的な管状炉を超えるアクティブガス検知と自動フェールセーフ機能を搭載しています。
- 高品質な設計： スーパー1800 MoSi2発熱体からMET認証済みのコントローラー部品まで、産業環境での最大の耐久性と熱精度を実現するために、すべての部品を厳選しています。
- 多様な雰囲気制御： プロセスに高真空、陽圧、可燃性ガスと不活性ガスの特定の混合気のいずれが必要な場合でも、本システムは変化する研究ニーズに適応する柔軟性を提供します。
- 優れた断熱性： 高純度繊維状アルミナ断熱材の使用により、エネルギー効率と安定した加熱環境を確保し、実験結果の品質と実験室のエネルギーコストの両方を保護します。
- 専門家によるサポートとカスタマイズ： ユーロサーム製コントローラーのアップグレードや専用ソフトウェアキットを含む豊富なカスタマイズオプションを提供し、お客様の運用成功に尽力する技術チームがサポートします。
本システムは、最も要求の厳しい熱処理用途に対して、安全性と性能の両方におけるプレミアムな投資となります。お客様固有の研究要件に合わせた技術コンサルティングまたはカスタマイズされた見積もりについては、今すぐお問い合わせください。
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