1200°C 5面加熱雰囲気制御マッフル炉 64リットル 高均一性ボックス炉(材料合成用)

雰囲気炉

1200°C 5面加熱雰囲気制御マッフル炉 64リットル 高均一性ボックス炉(材料合成用)

商品番号: TU-QD04

最高温度: 1200°C 加熱構成: 5面加熱 チャンバー容量: 64リットル (400x400x400mm)
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製品概要

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この高温熱処理システムは、材料合成や産業研究の厳しい要求を満たすために特別に設計された、雰囲気制御炉工学の最高峰です。洗練された5面加熱構成を採用することで、標準的なマッフル炉の能力を超える卓越した熱均一性を実現しています。この装置は複雑な化学反応のための安定した環境を提供し、厳密に制御された雰囲気条件下で高精度の焼結、アニール、焼成を行うことが可能です。気密性の高いスチール製チャンバーにより、内部環境を外部空気から隔離し、不活性ガス、酸化ガス、または特定の還元ガスの使用を容易にします。

主に材料科学研究所、冶金研究開発部門、先端セラミックス製造をターゲットとしており、次世代材料開発のための重要なツールです。64リットルの容量は、パイロットスケールの生産と実験的なバッチ処理の両方に十分なスペースを提供します。耐久性と長期的な運用安定性を重視した設計となっており、再現性と正確な熱データを必要とする研究機関にとって不可欠な資産です。半導体ウェハー処理や特殊な粉末冶金など、どのような用途であっても、炉全体で一貫した性能を発揮し、すべてのサイクルで最も厳しい品質基準を満たすことを保証します。

堅牢な水冷ジャケットを備えており、1200°Cの最高容量で動作している場合でも、安全な外装温度を維持します。この二層設計は、オペレーターを保護するだけでなく、内部コンポーネントを熱疲労から守り、装置の耐用年数を延ばします。さらに、高品質のアルミナ繊維断熱材と、耐酸化性および耐熱衝撃性に優れたプレミアムなカンタル製加熱エレメントを採用することで、信頼性を高めています。調達チームやラボマネージャーにとって、この炉は精度へのプレミアムな投資であり、進化する研究要件に適応しながら産業グレードの堅牢性を維持する汎用性の高いプラットフォームを提供します。

主な特徴

  • 高度な5面加熱アーキテクチャ: 2面または4面から加熱する従来の炉とは異なり、本システムはチャンバーの5面に加熱エレメントを組み込むことで、熱場を高度に均一化し、温度勾配を最小限に抑えて材料の均質性を向上させます。
  • 気密真空シールチャンバー: 高耐久性のスチール製チャンバーと真空密閉シールを備えており、酸素に敏感なプロセス向けに10-1 torrまでの真空度を含む、内部雰囲気の精密な制御が可能です。
  • 統合型水冷ジャケット: 高度な循環式水冷システムがチャンバーを囲んでおり、外殻を過度の熱から保護し、高温サイクル中の外部環境の迅速な安定化を保証します。
  • 高性能アルミナ繊維断熱材: チャンバーは高純度のアルミナ繊維断熱材で裏打ちされており、優れた耐熱性、低蓄熱性、エネルギー効率を提供し、より高速な昇温と制御された冷却を可能にします。
  • デュアルガスフロー管理: 2つの8 L/minフロート式流量計を装備しており、不活性ガスやプロセスガスの正確な導入と混合が可能で、加熱サイクル中の複雑な雰囲気処理を容易にします。
  • インテリジェントPID温度制御: 標準のFA-YD518P-AGコントローラーは、±1°Cの精度で30セグメントのプログラムが可能であり、複雑な昇温・保持プロファイルに必要な柔軟性を提供します。
  • 安全第一の保護システム: 過昇温防止および熱電対断線アラームが標準装備されており、専用のチラー故障アラームと連動して、装置の損傷を防ぎオペレーターの安全を確保します。
  • 優れた材料適合性: カンタル製Fe-Cr-Al抵抗加熱ワイヤーの使用により、幅広い温度と雰囲気への適合性を確保し、酸化環境および不活性環境で長期にわたる性能を提供します。
  • モジュール式拡張オプション: より厳密な変動(<± 0.1ºC)を実現するEurothermコントローラーや、脱脂プロセス用の特殊ステンレス製レトルトなどのアップグレードオプションに対応しています。

用途

用途 説明 主なメリット
先端セラミックス焼結 アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素などのテクニカルセラミックスの精密焼成。 優れた5面均一性により、歪みや内部応力を防止。
粉末冶金 制御された不活性または還元雰囲気下での金属粉末および合金の焼結。 気密チャンバーが酸化を防ぎ、純粋な金属相を確保。
半導体処理 真空またはガス中でのシリコンや化合物半導体ウェハーのアニールおよびドーピング。 クリーンな雰囲気と厳密な温度制御により、高い歩留まりを実現。
脱脂プロセス オプションのステンレス製レトルトを使用した、成形部品からの有機バインダーの除去。 制御されたガスフローにより、チャンバーを汚染することなく揮発成分を安全に除去。
触媒合成 酸化環境下での化学触媒の高温調製および焼成。 正確なPID制御により、再現性の高い触媒表面特性を確保。
固体電解質 厳格な雰囲気隔離を必要とする電池材料の研究および生産。 合成中に湿度や酸素のない環境を維持。

技術仕様

パラメータ TU-QD04の仕様詳細
モデル識別 TU-QD04
連続使用温度 < 1100 °C
最高使用温度 < 1200 °C (1時間未満の持続時間)
チャンバー加熱エリア 400 mm × 400 mm × 400 mm (16" x 16" x 16")
総チャンバー容量 64 リットル
均一加熱エリア 300 mm × 300 mm × 300 mm (±2°C @ 800 °C)
加熱構成 最適な熱分布のための5面加熱
消費電力 9.5 KW
入力電圧 208 - 240V 単相, 50/60Hz (三相も利用可能)
加熱エレメントタイプ カンタル製 Fe-Cr-Al 高品位抵抗ワイヤー
断熱材 高品質アルミナ繊維断熱材
温度コントローラー FA-YD518P-AG PID (30プログラムセグメント)
制御精度 ± 1 °C
熱電対タイプ Omega製 デュアルKタイプ (長さ12インチ、外径1/4インチ)
推奨昇温速度 ≤ 10 °C / 分
最大昇温速度 20 °C / 分
真空度 < 0.5 torr (真空ポンプとシールに依存)
内部圧力 < 9 psig
雰囲気適合性 不活性ガス、空気、酸素、5%水素混合ガス
冷却機構 16 L/min 循環式水冷チラー付属
真空ポンプ仕様 240 L/min ロータリーベーンポンプ (YTP-550)
ガス流量制御 8 L/min フロート式流量計×2 (前面取り付け)
最大サンプル荷重 < 35 kg
認証 CE認証取得済み (ご要望に応じてNRTL/UL61010/CSA対応可能)

TU-QD04を選ぶ理由

  • 比類なき熱均一性: 5面加熱設計により、2面加熱炉にありがちなコールドスポットを排除し、チャンバー内の位置に関係なく材料が同一の熱遷移を受けることを保証します。
  • 産業用雰囲気の完全性: 真空シールされた気密チャンバーと統合されたガス管理システムにより、最も繊細な化学・金属プロセスに必要な純度と精度を提供します。
  • プレミアムコンポーネント工学: カンタル製加熱エレメントからOmega製熱電対、アルミナ繊維断熱材に至るまで、すべてのコンポーネントが耐久性と高性能な長寿命のために選定されています。
  • 包括的な安全アーキテクチャ: 専用の水冷ジャケットと、温度および冷却流量の両方に対する故障アラームの搭載により、無人または長時間のサイクルでも安心して運用できます。
  • 高度にカスタマイズ可能なプラットフォーム: Eurotherm制御の精度が必要な場合でも、脱脂用の専用レトルトが必要な場合でも、この炉は特定の研究や産業生産プロトコルに合わせて調整可能です。

当社のエンジニアリングチームが、お客様の特定の研究室や生産要件に最適な熱ソリューションの構成をお手伝いします。技術的なご相談や正式なお見積りについては、今すぐお問い合わせください。

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